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Ce~(3+)注入掺杂金刚石薄膜电致发光研究

王小平  张雷  段新超  王丽军  王隆洋  雷通  吕承瑞  
【摘要】:利用微波等离子体化学气相沉积设备在高掺杂硅衬底上沉积一层金刚石薄膜,然后采用离子注入法在金刚石薄膜中注入不同剂量的从而制备出了 Ce~(3+)掺杂金刚石薄膜,研究了其电致发光特性,得到了发光主峰位于蓝紫区(476nm 和435nm 处)的光发射。实验中发现随着 Ce~(3+)注入剂量的增加,电致发光强度也随之增加,同时对这些实验现象作了解释。

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