收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

1.56MeV Sb~+注入单晶硅

高剑侠  朱德彰  曹德新  周祖尧  赵国庆  
【摘要】:正本工作研究了1.58 MeV Sb~+注入单晶硅的损伤及退火行为。为了比较,选 R_p 相同的185 KeV B~+和480 KeV P~+作了同样研究。注入剂量在3E13—1E16 ion/cm~2,退火温度为500—1050℃。文章采用了3MeV He RBS-C 对注入损伤及恢复行为作了剖面测量,用 XTEM 对部分样品作了损伤类型和分布研究;用扩展电阻法和四探针来监测

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 文建国;王仁卉;路钢华;;单晶硅中位错对CBED的零阶Laue带花样影响的实验观察[J];电子显微学报;1988年03期
2 肖清华,王敬,屠海令;质子注入单晶硅中的结构演化[J];矿业研究与开发;2003年S1期
3 黄波;高玉飞;葛培琪;;金刚石线锯切割单晶硅表面缺陷与锯丝磨损分析[J];金刚石与磨料磨具工程;2011年01期
4 宇慧平,隋允康,张峰翊,常新安;勾形磁场下直径300mm CZ Si熔体中氧浓度分布的数值模拟[J];半导体学报;2005年03期
5 江阔;李合非;宫声凯;;应力对La_(0.83)Sr_(0.17)MnO_3薄膜输运性能的影响[J];物理学报;2006年03期
6 宇慧平;隋允康;安国平;;不同磁场对大直径单晶硅生长中的动量与热量输运影响的数值分析(英文)[J];人工晶体学报;2008年05期
7 朱健;储金宇;王雪涛;关庆丰;梁亮;;强流脉冲电子束轰击对单晶Si表面形貌的影响[J];核技术;2009年08期
8 刘立新;罗平;李春;林海;张学建;张莹;;单晶硅生长原理及工艺[J];长春理工大学学报(自然科学版);2009年04期
9 顾本源,许政一,葛培文;单晶硅中杂质氢导致的局域模的红外吸收[J];中国科学A辑;1985年01期
10 王顺,李琼,林成鲁;中子辐照单晶硅与激光退火制备SOI结构的研究[J];中国激光;1988年11期
11 崔金玲,彭玉峰,程祖海;强激光作用下单晶硅的热畸变特性研究[J];河南师范大学学报(自然科学版);2005年03期
12 韩家广;Abul K.Azad;张伟力;许景周;陈坚;张希成;;从光子晶体效应到表面等离子波的实时演变[J];物理;2007年07期
13 江任荣,项颂光,王浩文,徐泽鸿,莫党;As~+注入硅的紫外-可见椭圆偏振光谱[J];物理学报;1987年08期
14 张通和;吴瑜光;赵寿南;祝忠华;;砷离子注入硅的快速热退火对晶格应力和PN结漏电流的影响[J];自然科学进展;1993年04期
15 龙先灌,王明华,何福庆,彭秀峰;单晶硅面沟道效应的研究[J];核技术;1984年01期
16 苏昉,C.LEE,P.C.TAYLOR;单晶硅中硅氢键和氢致缺陷的电子自旋共振研究[J];物理学报;1988年07期
17 林成鲁,方子韦,邢昆山,倪如山,邹世昌;As_2~+注入硅的辐射损伤和退火行为研究[J];应用科学学报;1990年01期
18 李爱莉;刘春荣;;高电阻率N型单晶硅的红外光谱[J];安徽大学学报(自然科学版);1983年01期
19 俞帆,董勤,龚光林,曾昭权,刘刚;单晶硅片温度的拉曼光谱测定[J];云南大学学报(自然科学版);2002年03期
20 王建华;范开果;刘志锋;孙建平;张金涛;王哲;;激光干涉法测量硅高温环境下的线膨胀系数的实验研究[J];应用光学;2007年05期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 高剑侠;朱德彰;曹德新;周祖尧;赵国庆;;1.56MeV Sb~+注入单晶硅[A];第八届全国核物理会议文摘集(下册)[C];1991年
2 肖清华;王敬;屠海令;;质子注入单晶硅中的结构演化[A];中国有色金属学会第五届学术年会论文集[C];2003年
3 邓谷雨;陈启生;;提拉法单晶硅生长流场分析[A];中国力学学会学术大会'2005论文摘要集(下)[C];2005年
4 李小成;吕晋军;高飞;杨生荣;;单晶硅摩擦致相变的SEM研究[A];第十三届全国电子显微学会议论文集[C];2004年
5 龙先灌;王明华;何福庆;彭秀峰;;关于单晶硅的面沟道效应研究[A];第五次核物理会议资料汇编(上册)[C];1982年
6 苏文佳;左然;Vladimir Kalaev;;单晶炉导流筒、热屏及炭毡对单晶硅生长影响的优化模拟[A];第15届全国晶体生长与材料学术会议论文集[C];2009年
7 陆铭慧;张碧星;汪承灏;;各向异性单晶硅中声波时间反转自适应聚焦[A];中国声学学会2003年青年学术会议[CYCA'03]论文集[C];2003年
8 易洪;逯海;;阿伏加德罗常数测定与摩尔复现[A];2007年全国质谱学会无机质谱、同位素质谱、质谱仪器和教育学专业委员会学术交流会论文集[C];2007年
9 徐勇军;王荣;朱佳政;朱升云;T.Iwata;K.Matsuta;M.Fukuda;M.Mihara;T.Minamisono;;中子和重离子辐照Al_2O_3中空洞的形成及其退火行为[A];第十一届全国核物理大会论文集[C];2000年
10 李振军;徐洮;李红轩;郝俊英;周惠娣;陈建敏;;DC—RF—PECVD制备DLC薄膜的摩擦学性能研究[A];甘肃省化学会成立六十周年学术报告会暨二十三届年会论文集[C];2003年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 潘葳;新型半导体材料的电输运特性研究[D];上海交通大学;2007年
2 肖志松;掺铒硅基薄膜的纳米结构与发光动力学研究[D];北京师范大学;2001年
3 陈红;氢化纳米硅薄膜的光学常数和室温可见发光研究[D];上海交通大学;2007年
4 贾传磊;离子注入法与射频溅射法制备光波导的研究[D];山东大学;2006年
5 孙牧;等离子体源离子注入材料表面改性及其机理研究[D];中国科学院研究生院(物理研究所);1997年
6 姜毅;离子注入光电晶体损伤诱导折射率改变及波导导模特性研究[D];山东大学;2006年
7 焦扬;离子注入与离子束刻蚀制备平面和条形光波导的研究[D];山东大学;2007年
8 钟志亲;6H-SiC的辐照效应研究[D];四川大学;2007年
9 王亮玲;离子注入与离子交换平面和条形光波导的制备及其特性研究[D];山东大学;2008年
10 王磊;离子注入平面与条形光波导的优化条件研究[D];山东大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 曲璐;强激光辐照硅材料等离子体机理研究[D];长春理工大学;2009年
2 罗平;直拉法单晶硅生长原理及工艺[D];长春理工大学;2009年
3 谈蕊;强光毁伤中的拉曼散射现象研究[D];长春理工大学;2009年
4 张福军;太阳能硅晶片双束激光双线划槽方法与装置[D];河北工业大学;2007年
5 陆加佳;氢化纳米硅/单晶硅异质结二极管的能带结构和输运特性研究[D];上海交通大学;2008年
6 侯东超;离子注入铌酸锂光波导电光特性改变及晶格损伤分布研究[D];山东大学;2008年
7 孔志勇;离子注入Nd:KGW光波导的特性研究[D];山东大学;2009年
8 刘光友;多孔硅基功能薄膜的研究[D];西南大学;2008年
9 陈绍军;硅纳米孔柱阵列及其SnO_2复合薄膜的酒精敏感特性研究[D];郑州大学;2006年
10 魏东海;勾形磁场对硅单晶CZ生长过程影响的全局数值分析[D];重庆大学;2007年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978