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空间机构微小化设计探讨

罗玉峰  张九天  杨廷力  
【摘要】:在总结微型机电系统(MEMS)的特点和现有微细加工方法的基础上,讨论了空间机构微小化设计的准则,最后用一个空间机构的微小化设计例子说明了设计方法。

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