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多晶硅薄膜的制备参数对其结晶状况的影响

李瑞  陈永生  杨仕娥  靳锐敏  王海燕  张宇翔  卢景宵  
【摘要】:我们使用等离子体增强型化学气相沉积(PECVD)的方法在玻璃衬底上制备了用于太阳能电池的多晶硅薄膜。通过对其Raman谱的分析得出不同沉积条件下薄膜的结晶状况,并对其结果进行了一系列的讨论分析。

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