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不同氮掺杂量及热处理温度对二氧化钛薄膜性质之影响

林惠娟  王建和  
【摘要】:本研究系利用射频溅镀方法在玻璃基板上制备二氧化钛薄膜,在固定溅镀功率及时间下,探讨N_2/Ar流量及热处理温度对二氧化钛薄膜显微结构及光觸媒性质的影响。实验中,首先以低锐角X光绕射仪(GID)及拉曼光谱测定法(Raman Spectrometry)鉴定薄膜的晶体结构,然后以场发射扫描式电子显微镜(FE-SEM)观察热处理条件对薄膜表面型态的影响,并利用原子力显微镜(AFM)量测薄膜的表面粗糙度,最后并以可见紫外光谱仪(UV-visible)及亚甲基蓝溶液反应,探讨二氧化钛薄膜的光觸媒效应。由结果显示,在可见光照射下,N_2/Ar流量为20/20sccm,热处理温度350℃时会有最佳的光觸媒分解效率,而二氧化钛薄膜的N_2/Ar流量、热处理温度及粗糙度对其光觸媒效应有很大的影响。

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