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横向剪切干涉仪反射镜角度偏差对干涉条纹的影响

马小龙  阮萍  李福  杨建峰  
【摘要】:通过将横向剪切干涉仪光路展开,得出反射镜角度变化与干涉条纹倾斜角和线对数变化之间的关系。并基于Zemax光学设计软件的非序列元件计算功能,模拟横向剪切干涉仪两个反射镜角度变化对干涉条纹倾斜角和线对数的影响。公式计算结果和Zemax模拟结果符合的很好,其结论在实际的横向剪切干涉仪装配中,具有定量的指导意义,对干涉仪的结构设计指标的制定具有参考价值。

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