【摘要】:阐明了微小几何参数的光学衍射测量原理,明确了一维衍射测量、二维衍射测量和统计衍射测量的概念和计算式,为解决细丝、狭缝及其相关联的物理量的一维测量;网孔、阴罩板的二维测量以及红细胞、微粒的非接触统计衍射测量提供了依据,并利用该技术,结合实际需要解决了非接触、在线、自动测量问题。
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