CNx薄膜的结构表征

【摘要】：正 1 前言自从Liu和Cohen以第一性原理为基础,从理论上预言了存在硬度超过金刚石的物质β-C_3N_4,碳氮化合物开始引起人们的高度注意和浓厚兴趣。在过去的十几年里,人们对碳氮薄膜的合成进行了大量的研究,实验技术包括:射频溅射、离子束辅助沉积、磁控溅射、化学气相沉积和激光消融等。然而,人们并没有得到理论预测的晶态β-C_3N_4,却得到了非晶态CNx化合物,不同含氮量的非晶碳氮薄膜已经用不同的方法合成出来。非晶CNx薄膜由于具有耐磨、低摩擦系数、高弹性和高硬度等多方面的优越性能,在很多领域中具有广阔的应用前景,如用于计算机的硬盘表面保护层,因此非晶CNx薄膜在性能上优越于纯碳镀膜而有取而代之的趋势。