收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

DC—RF—PECVD制备DLC薄膜的摩擦学性能研究

李振军  徐洮  李红轩  郝俊英  周惠娣  陈建敏  
【摘要】:利用直流-射频等离子体增强化学气相沉积(DC-RF-PECVD)技术在单晶硅表面制备了类金刚子:(DLC)薄膜。采用Rarnan光谱和原子力显微镜(AFM)等研究了薄膜的微观结构和表面形貌,在UMT-2MT摩擦试验机上考察了不同摩擦对偶对薄膜摩擦学性能的影响。结果表明:制备的薄胰具有典型的含氢类金刚石结构特征,薄膜均匀、致密,表面粗糙度小,硬度较高。薄膜与高硬度材料对磨时,磨擦系数低而稳定,仅出现轻微的粘着磨损;而薄膜与低硬度材料对磨时,磨擦系数高而不稳定。薄膜呈现严重的磨粒磨损特征。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 刘陈;朱光喜;刘德明;;氧等离子体处理对ITO薄膜表面性能的影响[J];液晶与显示;2006年04期
2 牛智红;任正伟;贺振宏;;GaAs(331)A面InAs自组织纳米结构形貌演化[J];真空科学与技术学报;2008年02期
3 张丽卿;张崇宏;杨义涛;姚存峰;孙友梅;李炳生;赵志明;宋书建;;高电荷态离子~(126)Xe~(q+)引起GaN表面形貌变化研究[J];物理学报;2009年08期
4 唐雄心,赵建生;氟化类金刚石薄膜的沉积及性能研究现状[J];湖北汽车工业学院学报;2001年04期
5 丁旭丽;李清山;徐言东;于业梅;李新坤;;氦压对类金刚石薄膜结构和光学性质的影响[J];物理实验;2009年04期
6 周顺,严一心;脉冲真空电弧离子镀沉积类金刚石薄膜的结构和力学性能研究[J];西安工业学院学报;2004年04期
7 杨兵初;颜建堂;张丽;马学龙;;掺硅类金刚石薄膜的制备及其光学性质研究[J];功能材料;2008年06期
8 谢红梅;;类金刚石薄膜的摩擦学特性研究进展[J];表面技术;2011年03期
9 杨兵初;聂国政;李雪勇;;类金刚石薄膜的电子结构及光学性质[J];中国有色金属学报;2006年06期
10 喻志农,朱昌,杭凌侠,严一心;脉冲多弧离子镀技术制备的类金刚石薄膜的硬度及电阻率[J];真空电子技术;1999年04期
11 李兆光;张人佶;杨宇;王浪平;;空间飞轮轴承等离子体浸没离子注入氮层性能研究[J];真空科学与技术学报;2011年03期
12 任妮,马占吉,李波,程峰,武生虎,肖更竭;NiTi合金表面镀类金刚石薄膜的生物摩擦学性能研究[J];真空与低温;2004年03期
13 罗乐;储雅琼;秦娟娟;方晓东;方尚旭;陶汝华;;用脉冲激光沉积法在Al_2O_3上沉积类金刚石薄膜[J];红外与激光工程;2011年06期
14 唐光昕,张人佶,颜永年;多孔二氧化钛涂层的表面形貌[J];清华大学学报(自然科学版);2004年11期
15 李红轩,徐洮,陈建敏,周惠娣,刘惠文;射频功率对类金刚石薄膜结构和性能的影响[J];物理学报;2005年04期
16 霍庆松;张宁玉;付刚;李爽;刘小村;韩利新;张玉华;;衬底及压强对磁控溅射ZnO薄膜表面形貌的影响[J];山东建筑大学学报;2010年04期
17 李建丰;常文利;张春林;张福甲;;9,9′-联蒽薄膜的AFM和XRD研究[J];功能材料;2010年08期
18 刘云燕;程传福;宋洪胜;臧永丽;杨善迎;;激光溅射沉积制备的ZnO∶Ga薄膜表面形貌分析[J];光学学报;2011年01期
19 阎兴斌,徐洮,王晓波,杨生荣;聚合物热解制备类金刚石薄膜的表面形貌研究[J];电子显微学报;2003年06期
20 朱昌,严一心,杭凌侠;用脉冲多弧离子放电技术镀制类金刚石薄膜及其化学结构和物理特性[J];应用光学;1998年03期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 李振军;徐洮;李红轩;郝俊英;周惠娣;陈建敏;;DC—RF—PECVD制备DLC薄膜的摩擦学性能研究[A];甘肃省化学会成立六十周年学术报告会暨二十三届年会论文集[C];2003年
2 楚信谱;苟伟;李剑锋;张礼平;李国卿;;脉冲辉光PECVD制备DLC薄膜的结构和性能研究[A];TFC'07全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2007年
3 王鹏;陈友明;张广安;刘维民;张俊彦;;Ti掺杂DLC薄膜的制备及其摩擦学性能研究[A];2006全国摩擦学学术会议论文集(三)[C];2006年
4 王吉会;贺小明;路新春;温诗铸;;等离子辅助沉积DLC膜的结构和微摩擦磨损特性[A];第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1998年
5 张广安;王鹏;陈友明;王霞;闫鹏勋;张俊彦;;含铝类金刚石薄膜的结构及机械性能研究[A];TFC'07全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2007年
6 梁海锋;严一心;;类金刚石薄膜的光学性能的研究[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
7 张阳;陈光华;马国斌;严辉;;织构C_(60)薄膜的生长研究[A];1996年中国青年学者物理学讨论会——薄膜材料与物理论文集[C];1996年
8 熊刚;孙霞;刘文汉;吴自勤;;TiN/TaN多层膜原子力显微镜图像的多重分形谱[A];第十一次全国电子显微学会议论文集[C];2000年
9 李艳青;智丽丽;陈惠敏;;黄原胶分子形貌的原子力显微镜研究[A];新疆物理学会第六次会员代表大会暨学术交流会论文集[C];2010年
10 谢刚;陶宏杰;赵忠贤;;高温超导体Bi_2Sr_2CaCu_2O_(8+δ)单晶解理面的AFM研究[A];第五届全国STM学术会议论文集[C];1998年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 王云锋;复合类金刚石薄膜的制备及其摩擦性能研究[D];兰州大学;2012年
2 白涛;稀土复合纳米薄膜的制备及其摩擦学性能研究[D];上海交通大学;2007年
3 梅显秀;强流脉冲离子束类金刚石薄膜沉积及高速钢辐照处理研究[D];大连理工大学;2002年
4 江美福;反应磁控溅射法制备的氟化类金刚石薄膜的结构和性能研究[D];苏州大学;2005年
5 王永进;SOI光波导器件及其增透膜的研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2005年
6 张三军;表面等离子体共振及其在探测金表面大分子方面的应用[D];华东师范大学;2008年
7 张淑敏;清洗技术和平滑层对极紫外多层膜基底粗糙度的影响及表面表征技术研究[D];同济大学;2007年
8 刘凡新;高密度硬盘磁头用超薄类金刚石薄膜的研究[D];华中科技大学;2007年
9 刘晓静;LATF晶体的生长、性能及表面形貌研究[D];山东大学;2009年
10 庞启龙;基于小波和分形的KDP晶体形貌分析及对透光性能的研究[D];哈尔滨工业大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 张晓峰;结合Langmuir-Blodgett和自组装技术制备纳米润滑薄膜的研究[D];河南大学;2007年
2 刘建立;无氢类金刚石薄膜的制备及其摩擦学性能研究[D];河南大学;2009年
3 石志锋;类金刚石薄膜改善人工关节摩擦学性能的研究[D];西南交通大学;2008年
4 林静;样品表面液膜对原子力显微镜测量影响的研究[D];中国科学技术大学;2009年
5 张波;ZnO薄膜的制备及其掺杂研究[D];东华大学;2006年
6 彭仕敏;WS_2/Ag、Mo硫化物/Ti复合薄膜的环境摩擦磨损[D];浙江大学;2007年
7 刘盛进;高电荷态Xe~(q+)离子轰击云母表面产生纳米点效应的研究[D];兰州大学;2009年
8 张军英;有机物修饰Si衬底上类金刚石膜的制备及摩擦性能研究[D];兰州大学;2007年
9 陈天星;利用原子力显微镜对近壁面受限液体性质的研究[D];清华大学;2011年
10 欧阳钢;脉冲激光沉积法制备纳米功能薄膜的形膜条件及其性能研究[D];湘潭大学;2004年
中国重要报纸全文数据库 前3条
1 千世;氟氧化物玻璃陶瓷激光材料问世[N];中国有色金属报;2006年
2 物理系;薛其坤团队领衔发现单原子层的超导体[N];新清华;2010年
3 于洋 永为;高分子薄膜研究获新进展[N];吉林日报;2011年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978