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光学亚表面缺陷子图像强度的非均匀性校正方法

许逸轩  李建欣  柏财勋  袁恒  刘杰  
【摘要】:正光学元件的亚表面缺陷指的是加工过程中产生的表面以下的划痕、裂纹、夹杂物等,亚表面缺陷的存在严重制约着光学元件在高功率激光系统中的性能。本方法通过紫外激光照射待测元件,激发缺陷内部的抛光残留物发射荧光,再通过紫外CCD探测就能得到待测件的亚表面缺陷分布。然而,由于测量件经长时间紫外激光照射后会有荧光湮灭现象(而且不可恢复),当荧光激发区域大于CCD成像区域时,会使得相邻区域边界部分的荧光亮度下降,造成采集的图像区域亮度不均匀,影响拼接后的图像分析,如图1所示。因此,针对荧光湮灭问题需要采取相应措施:采用软件算法来校正拼接图像的光照不均匀性。

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