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可用于车间现场精密元件表面缺陷自动化检测的装置

杨甬英  刘东  谢世斌  李阳  李晨  赵丽敏  陈阳杰  
【摘要】:正随着科技的发展,各领域对精密元件表面的质量,特别是表面缺陷检测要求日益提高,如惯性约束聚变ICF系统中大量的光学元件、集成电路硅片、激光器谐振腔、各类微光元件、智能终端显示器和手机屏表面的疵病都期望能实现缺陷定量检测。但是目前国内外还是采用传统的目视方法为主,几种方法如:①在强光照射下,人眼判读疵病的尺度,②利用制作的具有划痕等标准尺度的比对板比对估读,⑨利用显微镜观察读数。这些方法大都是采用人为的目视的反射或透射的散射成像检测,目视观察的不确定性、低效,没有一个客观统一的数字化标准系统。而本文提出了一种新颖的可用于车间精密元件表面缺陷自动化检测的装置,

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