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薄膜光学常数的椭偏测量方法

徐均琪  苏俊宏  
【摘要】:正准确获取薄膜厚度及光学常数是薄膜制备、膜系设计、材料研究工作的重要内容之一。椭圆偏振法是测量薄膜厚度和光学常数的一种重要的非接触式测试方法。随着椭圆偏振法基本理论的日趋成熟、椭偏仪自动化测量的实现、专业计算软件的应用,使得光学薄膜的椭偏分析技术得到了进一步的发展,吸引了众多学者的密切关注。但仍然存在着许多测试中的问题,如特殊

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