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抗振实时表面形貌测量技术研究

何国田  王向朝  黄尚廉  马燕  
【摘要】:正实时干涉测量仪的抗振能力是干涉仪最重要的技术指标之一,它是保证和提高机械、电子及光学系统性能和质量的关键因素。近年,超精密加工技术得到了飞速发展,加工尺寸越来越小,加工精度越来越高,已经达到微米甚至纳米尺度。如光学加工,其表面形貌达到入/100;微纳米机械结构由于吸附、生化反应等作用,其表面形貌将发生变化。这些领域需要更高精度的实时检测技

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