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相移算法振动误差分析

何祖斌  邓燕  徐建程  许乔  柴立群  
【摘要】:正在干涉计量中,移相干涉测量技术具有精度高,自动化程度高,实用性强,无相位符号二义性等优点而得到广泛的应用。它通过控制参考光束和测试光束之间的光程差,连续采集若干帧具有固定相位差的干涉图,采用一定的相移算法对干涉图进行处理,即可得到待测面的面形分布。然而环境振动和空气扰动会使干涉条纹处于不断的抖动状态之中,每次相移步长值不等,从而对计算结果产生很大的影响。本文采用频谱分析的方法计算环境振动在几种普遍应用的PSI(phase-shiftinginterferometry)算法中误差传递过程和测量误差RMS值,得到了不同振幅、不同频率振动影响时的测量误差RMS值分布,如图1所示。比较了不同的PSI算法对于振动的敏感性

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