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一种实时压电扫描器非线性软件校正的方法

杨甬英  吴璀罡  陆元彪  陈阳杰  杨李茗  
【摘要】:正压电式扫描器已经被普遍地应用于光学测试的各个领域。而在精密检测中,特别是条纹移相式系统中,压电式扫描器的非线性对测量结果的正确性带来了很大的影响。为此有各种压电式扫描器非线性软硬件校正的方法。本文提出了一种实时压电晶体非线性软件校正的方法,该方法是在移相式干涉系统中,依据系统的实际工作状态,利用CCD)采集多幅干涉图像,通过对干涉图像的数据分析及处理,获得压电晶体特征点的电压一位移曲线。首先由计算机向移相系统发送数据,使高压放大电路输出阶梯电压,驱动压电式扫描器的位移,每增加△V采集一张干涉图像,可以得到N幅干涉图像。提取这些图像上某一个固定特征点的灰度信息,如图1所示,实际上灰度变化就是位相或位移的变化。可以看出

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