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新型气体传感器与分析设备

漆奇  王宪辉  
【摘要】:随着材料合成技术与半导体制造工艺的飞速发展,各种新型的气敏材料与其相应的传感器件相继问世,这些传感器具有高灵敏度、快响应恢复以及优良的选择性、稳定性等特点,将有望于取代基于半导体粉体材料的旁热式气体传感器。同时,这些新型的材料与器件也对气敏分析设备提出了新的要求。介绍了几种新型的气敏材料与传感器件,及其气敏分析系统,并扼要地分析了今后的发展方向。

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