超临界CO_2微乳液对高浓度离子注入光刻胶的清洗

【摘要】：采用新型超临界CO_2清洗技术去除芯片表面的光刻胶,克服了半导体传统清洗工艺中的困难。研究了温度和时间对清洗效果的影响,分析了压力和表面活性剂对去除光刻胶的影响程度。结果表明,温度和反应时间直接影响着光刻胶的去除率,压力和表面活性剂对去除碳化的光刻胶有非常重要的作用。

下载App查看全文

下载全文更多同类文献

PDF全文下载

CAJ全文下载

(如何获取全文？欢迎：购买知网充值卡、在线充值、在线咨询)

CAJViewer阅读器支持CAJ、PDF文件格式，AdobeReader仅支持PDF格式

	【相似文献】
	【相似文献】

中国期刊全文数据库

前20条

1	谈凯声,祁宜芝;紫外光/臭氧干法去除光刻胶[J];半导体学报;1989年03期
2	白宗武，张秋红，黄小力，黄毓礼;光敏聚酰亚胺光刻胶及光刻工艺的研究[J];感光科学与光化学;1995年04期
3	王文如,杨正兵;微细金属图形制作中的剥离技术[J];压电与声光;2001年01期
4	孔祥东,张玉林,宋会英;LIGA工艺的发展及应用[J];微纳电子技术;2004年05期
5	;电子工艺材料[J];电子科技文摘;2006年01期
6	Daniel HG Choe,马长青;铝合金的反应离子选择腐蚀[J];微电子学;1986年02期
7	辛煜,宁兆元,叶超,许圣华,甘肇强,黄松,陈军,狄小莲;HfO_2在CHF_3,Ar和H_2的感应耦合等离子体中的刻蚀行为[J];真空科学与技术;2004年04期
8	管慧,田红;光刻胶处理系统的国内外现状[J];电子工业专用设备;1992年02期
9	夏云凡;张伟;陈垦;;光盘母盘制作的初步实验[J];应用激光;1987年S1期
10	章从福;;纳米器件超高分辨率光刻胶的开发[J];半导体信息;2004年04期
11	张清涛,李艳秋;MEMS器件中电极制作工艺的研究[J];微细加工技术;2005年03期
12	洪诗捷,沈奕;涂胶膜厚优化试验与控制方法[J];现代显示;2005年11期
13	武建宏;张嘉祺;;S-RRC中膜厚均一性的实现[J];集成电路应用;2005年01期
14	郑金红;;光刻胶的发展及应用[J];精细与专用化学品;2006年16期
15	水岛,宜彦,吉川昭,罗小春;无机光致抗蚀剂[J];压电与声光;1983年02期
16	刘文辉;STEPPER通用测试掩模的设计及使用[J];半导体情报;1995年03期
17	朱军,赵小林,倪智萍;SU-8 5光刻胶的应用工艺研究[J];微细加工技术;2001年02期
18	来五星,轩建平,史铁林,杨叔子;微制造光刻工艺中光刻胶性能的比较[J];半导体技术;2004年11期
19	任智斌,卢振武;通过缩短显影时间提高微透镜阵列的填充因子与F数[J];光电子.激光;2005年02期
20	姜政,丁桂甫,张永华,倪志萍,毛海平,王志明;叠层光刻胶牺牲层工艺研究[J];微细加工技术;2005年03期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	韩婷婷;李波;李玉香;王卿璞;;超临界CO_2微乳液对高浓度离子注入光刻胶的清洗[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集（第6分册）[C];2010年
2	李元广;王伟良;金建;;生物能源与CO_2减排领域的热点战略研究方向——微藻生物柴油产业化技术的发展思路及若干科学问题分析[A];庆祝中国藻类学会成立30周年暨第十五次学术讨论会摘要集[C];2009年
3	邹定辉;;长时期的高CO_2浓度生长条件对羊栖菜光合作用没有下调的作用[A];庆祝中国藻类学会成立30周年暨第十五次学术讨论会摘要集[C];2009年
4	冯振刚;;CO_2激光在自体表皮移植术中的应用[A];2010全国中西医结合皮肤性病学术会议论文汇编[C];2010年
5	刘程惠;胡文忠;姜爱丽;田密霞;王艳颖;何煜波;金黎明;;超临界CO_2萃取牡蛎中多不饱和脂肪酸条件优化的研究[A];中国食品科学技术学会第七届年会论文摘要集[C];2010年
6	南北红;赵青松;;不锈复合钢板的CO_2半自动焊接[A];晋冀鲁豫鄂蒙川云贵甘沪湘十二省区市机械工程学会2007年学术年会论文集（河南、贵州分册）[C];2007年
7	王勇;李海龙;张俊清;赖伟勇;刘明生;;海南香茅油超临界CO_2萃取条件的优化和筛选[A];海南省药学会二○一○年学术年会会议论文集[C];2010年
8	钟华;蒲彪;胡旭;;超临界CO_2萃取麻疯树籽油工艺的响应面优化[A];2010年中国农业工程学会农产品加工及贮藏工程分会学术年会暨华南地区农产品加工产学研研讨会论文摘要集[C];2010年
9	樊丽华;聂阳;;离子液体吸收CO_2的研究进展[A];二氧化碳减排控制技术与资源化利用研讨会论文集[C];2009年
10	杨营;林日嘉;吴清华;陈水挟;;固体胺纤维的制备及其对CO_2的吸附再生性能研究[A];低碳技术与材料产业发展研讨会论文集[C];2010年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	黄鸿雁;高功率轴快流CO_2激光器气体流场及热交换的模拟与优化[D];华中科技大学;2011年
2	张芳;大气CO_2、CH_4和CO浓度资料再分析及源汇研究[D];中国气象科学研究院;2011年
3	戴耀;钯催化CO_2、CO的转化及C-N键偶联反应的研究[D];大连理工大学;2012年
4	侯颖;川西亚高山复合群落中岷江冷杉和四种草本植物生长对CO_2浓度和温度升高的响应及其机理研究[D];华东师范大学;2010年
5	杨东晓;分离CO_2固定载体膜传质机理及其膜过程模拟和优化研究[D];天津大学;2009年
6	朱咏莉;亚热带稻田生态系统CO_2通量研究[D];中国科学院研究生院（教育部水土保持与生态环境研究中心）;2005年
7	刘长江;CO_2地质储存煤储层结构演化与元素迁移的模拟实验研究[D];中国矿业大学;2010年
8	尹先升;锆酸锂材料的设计、合成及高温CO_2吸附性能[D];华东理工大学;2011年
9	申俊琦;基于激光视觉传感的CO_2横焊焊缝图像处理研究[D];天津大学;2010年
10	李伟;海石湾井田CO_2成藏演化机制及防治技术研究[D];中国矿业大学;2011年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	韩婷婷;超临界CO_2微乳液去除光刻胶的研究[D];山东大学;2011年
2	李波;超临界CO_2用于光刻胶去除和低k材料修复的研究[D];山东大学;2012年
3	徐善雷;新造船舶CO_2指数计算方法研究[D];武汉理工大学;2010年
4	曲亚琳;高密度CO_2诱导羊肉糜凝胶的形成因素及机理初探[D];中国农业科学院;2010年
5	朱赛;表面改性对活性炭物理、化学性质及CO_2吸附性能的影响[D];郑州大学;2010年
6	朱赛;表面改性对活性炭物理、化学性质及CO_2吸附性能的影响[D];郑州大学;2010年
7	谢菲;球形活性炭对CO_2吸附行为研究[D];华东理工大学;2011年
8	谌艳珍;双台子自然保护区深部咸水层CO_2地质储存机制与潜力分析[D];中国地质大学（北京）;2011年
9	梁丽丽;超临界CO_2萃取含油污泥技术研究[D];中国石油大学;2011年
10	史翠华;CO_2激光写入旋转折变型长周期光纤光栅研究[D];重庆大学;2010年

中国重要报纸全文数据库

前10条

1	记者李大庆;我第一条百吨级高档光刻胶生产线投产[N];科技日报;2009年
2	本报记者赵艳秋;光刻胶行业：“刻”不容缓[N];中国电子报;2002年
3	盈如;永光建立世界级光刻胶供货商地位[N];电子资讯时报;2005年
4	梁立明 DigiTimes;深耕IC光刻胶产品完备两岸三地布局[N];电子资讯时报;2006年
5	本文由永光化学电处技术发展部提供;光刻胶在LED工艺上的使用技术[N];电子资讯时报;2004年
6	张伟;FSI全新无灰化、湿法光刻胶去除ViPR技术[N];电子资讯时报;2006年
7	北京科华微电子材料有限公司董事长兼总经理陈昕;多方努力寻求高档光刻胶突破[N];中国电子报;2009年
8	;90纳米时代 IC工艺的光刻胶[N];电子资讯时报;2004年
9	唐茵;道康宁硅树脂产能将翻番[N];中国化工报;2008年
10	;永光化学：生产基地渐入佳境 LED光刻胶独树一帜[N];中国电子报;2008年

	快捷付款方式		订购知网充值卡	订购热线	帮助中心
	微信支付支付宝银行卡	知网卡在线购卡更多>>	免费送卡上门银行汇款购卡邮局汇款购卡	400-819-9993 010-62982499 010-62783978	常见问题在线咨询阅读器下载	充值中心知网卡新手指南