气氛对射频磁控溅射NiFe_2O_4薄膜性能的影响

【摘要】：首先采用固相反应法制备NiFe_2O_4溅射靶材,利用射频磁控溅射法在Si(100)基片上制备了NiFe_2O_4铁磁薄膜,并且研究了溅射气氛对薄膜性能的影响,溅射气氛包括Ar和O_2/Ar混合气体。结果表明,在两种不同气氛中沉积的薄膜样品都呈立方尖晶石结构,通入少量氧气之后,薄膜择优取向发生改变,并且磁性能得到改善,饱和磁化强度(M_s)为50emu/cm~3。

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前20条

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2	龚杰;刘孟寅;王海媛;薛凤英;颜景岳;张帅;王晖;李德军;;工作气压和基底偏压对ZrB_2/AlN纳米多层膜结构和机械性能的影响[J];真空科学与技术学报;2011年04期
3	郭红力;刘果;李雪冬;肖定全;朱建国;;两步法快速退火对PMN-PT薄膜结构和性能的影响[J];功能材料;2011年08期
4	张延帅;周晖;万志华;桑瑞鹏;郑军;;靶功率对射频磁控溅射制备MoS_2-Sb_2O_3复合薄膜结构和性能的影响[J];润滑与密封;2011年07期
5	邬小鹏;傅竹西;;MgZnO薄膜的制备及其光电特性[J];功能材料;2011年09期
6	黄展云;罗平;陈弟虎;;钕掺杂ZnO薄膜的制备及抗凝血性能研究[J];无机材料学报;2011年09期
7	;[J];;年期
8	;[J];;年期
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18	;[J];;年期
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中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	童俊军;刘秋香;蒋艳萍;唐新桂;;气氛对射频磁控溅射NiFe_2O_4薄膜性能的影响[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集（第5分册）[C];2010年
2	黄林艳;张丽霞;夏超波;苏贵金;郑明辉;;制备的NiFe_2O_4尖晶石对十氯联苯的降解研究[A];中国化学会第28届学术年会第2分会场摘要集[C];2012年
3	刘浩文;唐定国;李襄宏;张炳广;杨汉民;;共沉淀法合成尖晶石NiFe_2O_4[A];2010中西部地区无机化学化工学术研讨会论文集[C];2010年
4	杨利;庄惠照;魏芹芹;孙振翠;郭兴龙;董志华;高海永;薛成山;;氨化磁控溅射Ga_2O_3膜在Si(111)衬底上制备GaN纳米棒[A];2002年材料科学与工程新进展（上）——2002年中国材料研讨会论文集[C];2002年
5	任雪勇;谢泉;杨吟野;肖清泉;杨创华;曾武贤;梁艳;;溅射功率对Ca_2Si薄膜性质的影响[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集（4）[C];2007年
6	亢原彬;吴景波;邓湘云;李德军;;工作气压对ZrB_2/W纳米多层薄膜结构和机械性能的影响[A];2008全国功能材料科技与产业高层论坛论文集[C];2008年
7	郑树凯;王天民;王聪;郝维昌;潘锋;;射频磁控溅射制备TiO_2薄膜的研究[A];2002年材料科学与工程新进展（上）——2002年中国材料研讨会论文集[C];2002年
8	董艳玲;杜丕一;翁文剑;韩高荣;沈鸽;;sol-gel法原位复合PbTiO_3/镍铅铁氧体复相粉体材料的制备研究[A];全国第三届溶胶—凝胶科学技术学术会议论文摘要集[C];2004年
9	刘锦宏;王丽;薛萍萍;王海波;孙建荣;李发伸;;纳米晶NiFe_2O_4铁离子占位的穆斯堡尔谱研究[A];第四届全国磁性薄膜与纳米磁学会议论文集[C];2004年
10	王明霞;肖楠;李德军;;WTiN薄膜的合成及其结构和性能的研究[A];2008全国功能材料科技与产业高层论坛论文集[C];2008年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

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2	刘宝刚;NiFe_2O_4基陶瓷的导电和熔盐腐蚀行为研究[D];中南大学;2012年
3	冯先进;高质量SnO_2薄膜的制备及特性研究[D];山东大学;2008年
4	贾传磊;离子注入法与射频溅射法制备光波导的研究[D];山东大学;2006年
5	刘立华;硼碳氮薄膜的制备及性质研究[D];吉林大学;2006年
6	樊攀峰;RF磁控溅射及LSMCD法制备铁电薄膜的研究[D];天津大学;2005年
7	张浴晖;射频磁控溅射法制备FC/ZnO有机—无机杂化材料及其结构与性能研究[D];东华大学;2008年
8	张锡健;MgZnO薄膜的制备及特性研究[D];山东大学;2006年
9	吴云翼;钛酸铋系铁电薄膜材料改性研究[D];华中科技大学;2008年
10	杨青慧;全频段石榴石薄膜性能及应用基础研究[D];电子科技大学;2009年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	董志华;硅基SiC中间层辅助法合成GaN薄膜和纳米线的研究[D];山东师范大学;2005年
2	林方婷;纳米Fe基软磁合金的制备及微结构研究[D];华东师范大学;2005年
3	祁俊路;射频反应磁控溅射法制备Al_2O_3薄膜结构与性能的研究[D];合肥工业大学;2006年
4	高海永;ZnO薄膜的制备及氨化Ga_2O_3/ZnO薄膜合成一维GaN纳米结构的研究[D];山东师范大学;2005年
5	梁鸿秋;PLZT薄膜电学和光学性能及电光器件原理研究[D];电子科技大学;2007年
6	唐鹏举;纳米硅薄膜太阳电池本征层的制备及性能研究[D];华中科技大学;2007年
7	刘思鹏;射频磁控溅射制备TiB_2/TiAlN纳米多层膜和BaTiO_3薄膜的研究[D];天津师范大学;2009年
8	李娇;氧化锌纳米结构与薄膜的制备及光学特性研究[D];大连理工大学;2008年
9	彭家根;PZT热释电薄膜材料的研究[D];电子科技大学;2005年
10	赵莉;钛酸锶钡非线性铁电薄膜的尺寸效应研究[D];电子科技大学;2005年

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