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PZT基体上局部沉积NiTiSMA薄膜材料的组织结构研究

高晓云  刘庆锁  陆翠敏  
【摘要】:使用模具局限面积控制并采用磁控溅射法制备表面具有不连续分布NiTi SMA薄膜条的PZT材料。采用XRD与SEM研究了NiTi SMA薄膜的结构尺寸对材料的显微组织结构的影响。观察发现,对于条间距为1mm及条宽不大于2mm的局限面积沉积下的NiTi SMA薄膜晶化处理后具有等轴晶结构。与沉积的大面积连续NiTi SMA薄膜相比,局限面积沉积的NiTi SMA薄膜与PZT之间复合效果更好。

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