锥面靶溅射中薄膜的沉积速率和均匀性的研究

【摘要】：为溅射沉积计算机芯片铜导线设计了一种新型锥面靶。利用低气压下溅射沉积过程与热辐射过程的相似性,引入热辐射学中的角系数概念建立了一个角系数模型。随后,利用该模型模拟锥面靶与平面靶溅射沉积中对300mm基片上薄膜的沉积速率和均匀性状况。模拟结果表明,对于相同底部半径的锥面靶和平面靶,用锥面靶沉积的薄膜具有较好的均匀性,但薄膜的沉积速率要小于平面靶;与锥面靶相对应的薄膜沉积速率随锥面倾角的增大而增大,但薄膜的均匀性却随之下降。

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8	刘文强;仝亮;徐岭;刘妮;杨菲;廖远宝;刘东;徐骏;马忠元;陈坤基;;硫系相变材料Ge_1Sb_2Te_4和Ge_2Sb_2Te_5薄膜相变速度及电学输运性质研究[J];固体电子学研究与进展;2011年03期
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12	;以人为本,方可基业长青——深圳颖尚电子材料有限公司[J];网印工业;2011年08期
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8	陶国庆;吕俊青;;锥面靶溅射中薄膜的沉积速率和均匀性的研究[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集（第4分册）[C];2010年
9	金艳梅;刘赵淼;;液体涂覆中褶皱形成的影响因素及防治措施[A];北京力学会第13届学术年会论文集[C];2007年
10	曹阿静;魏悦广;;二维分子动力学模拟纳米薄膜从基体上撕开[A];北京力学学会第12届学术年会论文摘要集[C];2006年

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1	陈喜明;TiO_2薄膜光诱导超亲水性的研究[D];浙江大学;2005年
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5	殷少飞;MnX_2、PbX_2体系有机—无机类钙钛矿材料的制备与结构[D];武汉理工大学;2006年
6	孔玮曼;应用于X射线FPD的非晶硒膜的制备方法研究[D];清华大学;2005年
7	曹渊武;生物蛋白胶在椎体后凸成形术中应用的离体研究[D];复旦大学;2008年
8	张云芳;PECVD法制备a-C：F：N薄膜的结构和稳定性研究[D];中南大学;2005年
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中国重要报纸全文数据库

前10条

1	陈昌杰;易撕裂薄膜[N];中国包装报;2009年
2	陈银江　孔香华;会“呼吸”的薄膜落户延洽会[N];中国食品安全报;2011年
3	陈昌杰;易开封薄膜[N];中国包装报;2009年
4	符朝贵;我国聚酯薄膜行业存在的问题和发展方向[N];中国包装报;2008年
5	本报记者张洪生　梁红兵诸玲珍;光伏电池:晶硅占主流薄膜等待投资良机[N];中国电子报;2010年
6	孙述通;塑料彩印企业成本管理之薄膜管理[N];中国包装报;2009年
7	张蓉;薄膜新技术迎接各种包装挑战[N];中国包装报;2010年
8	;新能源股新政出台刺激看好薄膜和晶硅电池[N];上海证券报;2009年
9	记者孙文生　通讯员张晓奇;新型“光生态薄膜”在杨凌研发成功[N];陕西日报;2010年
10	通讯员钟伟　陈淼;“凯利包装”试产会“呼吸”的薄膜[N];绍兴日报;2009年

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