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PLD在SrTiO_3(100)晶面沉积YBCO薄膜性能分析

周萍  张永彬  黄火根  蒋春丽  
【摘要】:采用脉冲激光沉积的方法在STO(100)晶面沉积了YBCO薄膜,并对薄膜的厚度、形貌、结构及超导电性进行了分析。结果表明,在本实验的沉积参数下,薄膜未能呈现良好的超导性,通过结果分析认为基片的沉积温度偏低及薄膜退火氧压过低是主要原因。

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