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高密度ITO靶材的成形工艺及理论分析

马晓波  钟景明  孙本双  陈焕铭  王东新  
【摘要】:对高端薄膜所用高密度ITO靶材的主要成形、烧结工艺如等静压成形、粉浆浇注成形、热压成形、爆炸压实成形进行了阐述。分析了其各自的成形原理、优缺点及发展现状。并指出了现阶段ITO靶材所面临的技术难题:结瘤现象严重、最佳掺杂量和第二相问题。明确了ITO靶材未来发展趋势。

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