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ZnO/SiO_2复合薄膜的制备及性能研究

李启源  魏长平  孙小飞  许洁  
【摘要】:以二水合醋酸锌、正硅酸乙酯为原料,采用溶胶-凝胶法在玻璃衬底上旋涂制备ZnO/SiO_2复合薄膜。采用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)和荧光光谱(PL)对薄膜的表面形貌、晶体结构进行表征,并考察其光致发光性能。结果表明,薄膜中大部分颗粒分布均匀,尺寸大小约为15nm,500℃热处理后ZnO均为六角纤锌矿结构,形成ZnO/SiO_2复合薄膜,样品在355nm波长激发下位于384nm及440nm处有发射峰,分别对应于ZnO和SiO_2的发射峰。

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