钽基体上铜薄膜微观结构的分子动力学模拟(英文)

【摘要】：运用分子动力方法模拟了铜薄膜在钽(100)及(111)基体上沉积过程．结果表明沉积过程中铜薄膜的晶格位向取决于钽基体的晶格位向．在钽(100)面上,铜薄膜在不同的温度下分别沿(111)或(110)面生长, 所形成的晶界与位错沿着薄膜的生长方向发展,薄膜表面的粗糙度与沉积温度有关,低温时表面粗糙度较大。而在钽(100)面上,铜薄膜的外延生长面为(100)面,位错沿(111)面分布,并只存在于界面附近,在铜薄膜的内部仅有少量的点缺陷,薄膜表面粗糙度较小并与沉积温度无关．

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14	李国建;王强;曹永泽;吕逍;李东刚;赫冀成;;初始温度和冷却速率对金属团簇凝固行为的影响[J];物理学报;2011年09期
15	贺平逆;吕晓丹;赵成利;宁建平;秦尤敏;苟富均;;F原子与SiC(100)表面相互作用的分子动力学模拟[J];物理学报;2011年09期
16	邵琛玮;王振华;李艳男;赵骞;张林;;AuCu_(249)合金团簇热稳定性的原子尺度计算研究[J];物理学报;2011年08期
17	颜超;;载能Ni原子斜入射Pt(111)表面的分子动力学模拟[J];计算物理;2011年05期
18	;前沿[J];河南科技;2011年13期
19	王召柯;吴永全;沈通;刘益虎;蒋国昌;;Zn-Mg合金的长程Finnis-Sinclair势[J];物理学报;2011年08期
20	张寅晖;张瑞生;胡荣静;袁永娜;;HIV-1 Tat与P-TEFb复合物的分子动力学模拟及结合自由能计算[J];兰州大学学报(自然科学版);2011年04期

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1	记者王皓;“深超-21C”通过鉴定[N];计算机世界;2003年
2	记者任海军;美《科学》杂志评出2010年十大科学进展[N];新华每日电讯;2010年
3	本报驻美国记者毛黎;美《科学》评出2010年十大科学突破及十年成就[N];科技日报;2010年
4	陆小华;研究介观结构开发新型材料[N];中国化工报;2002年
5	安吉;生命探索新引擎[N];科技日报;2009年
6	刘莉赵雪;药物分子设计成为药物研究核心技术[N];科技日报;2004年
7	记者李大庆;我科学家提出提高材料综合强韧性新途径[N];科技日报;2009年
8	柯新玮;我国发现提高材料综合强韧性新途径[N];上海科技报;2009年
9	记者贾少强　通讯员王静思;华大基因两大领域收获六项成果[N];深圳商报;2010年
10	通讯员王静思　记者刘传书;中国基因组学研究居国际领先地位[N];科技日报;2010年

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