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热蒸发沉积法制备多足状ZnO及其生长机理的研究

谭天  刘毅  宋雪梅  王波  严辉  
【摘要】:利用热蒸发沉积方法,使用高纯 Zn 粉为原料 (>99.99%),在常压下,成功制备了多针状的 ZnO 微结构.当沉积气氛为纯氧气时,多钟 ZnO 单支的直径尺寸在2μm 左右,通过调整 Ar 和 O_2的比例,发现当蒸发源温度为800℃,气体流量控制在 Ar:O_2=0.5L/min: 0.1L/min 的时候,所制备的多足状 ZnO 的单支直径减小为400nm.采用 XRD 和 SEM 对样品进行了表征,并对形成这种多针状 ZnO 的生长机理进行了详细的讨论.

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