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有机太阳能电池ITO电极的光刻制备法及其研究

席曦  王振交  杨辉  乔琦  季静佳  陆红艳  李果华  
【摘要】:目前有机太阳能电池是光电行业研究的热点之一。通常该器件以 ITO 为阳极,通过真空蒸镀的方法制作。在对器件进行测试时,ITO 电极的设计制作,有利于器件的保护。用光刻技术进行 ITO 电极的制作,可以得到非常精细的结果。重点阐述了利用光刻方法制作优良 ITO 电极的注意点,包括表面清洗、曝光控制、显影控制和腐蚀工艺,其中由于不同 ITO 玻璃的导电层厚度、各成分含量不同,所以腐蚀工艺的研究是重点中的重点。提供了对生成光刻 ITO 电极的质量进行准确评价的一种简便方法。

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