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电化学刻蚀制备多孔InP

翁占坤  申慧娟  刘爱民  刘艳红  徐峰  罗慧晶  
【摘要】:利用扫描电子显微镜(SEM)对电化学刻蚀多孔InP的形貌进行了表征,用耗尽层模型和场强化效应模型讨论了多孔InP刻蚀的机制。

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