金属诱导晶化的实时电阻测量与监控

【摘要】：采用实时电阻测量方法实现了金属镍诱导晶化制备多晶硅薄膜的实时监控,实验中使用了两种样品,一种采用电场增强侧向晶化:另一种采用金属诱导侧向晶化.结果表明薄膜电阻值在高温下随晶化时间呈指数衰减,且具有很强的温度依赖关系.采用晶粒边界势垒模型解释了阻值衰减行为,分析计算了两种样品的阻值衰减规律.电场增强方式的时间常数比非电场增强方式小,表明加电场有促进晶化的作用.实时电阻测量方法可以用于金属诱导晶化动力学的研究,是一种简单实用的实时监控手段.

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中国期刊全文数据库

前10条

1	何宇亮,刘湘娜;非晶硅薄膜晶化与结构特性的研究[J];电子学报;1982年04期
2	何宇亮,沈宗雍,颜永红;G.D.非晶硅薄膜的晶化特性[J];科学通报;1982年17期
3	本刊编辑部;激光在半导体集成电路中的应用[J];微电子学与计算机;1983年01期
4	颜永红,何宇亮,吴汝麟;晶化对掺杂GD非晶硅薄膜导电性能的作用[J];电子学报;1984年05期
5	韦钦 ,张晓群;用劳厄相机研究金属玻璃的晶化过程[J];物理;1985年10期
6	张仿清,张南屏,余光明,汤训虎,陈光华;高温退火对GDa-Si_xC_(1-x):H 薄膜晶化特性的影响[J];半导体学报;1985年03期
7	李宗全,何怡贞;用俄歇谱仪研究金属玻璃Pd_(80)Si_(20)的热稳定性[J];科学通报;1985年24期
8	万大范;钽电解电容器Ta_2O_5介质膜的分析和研究[J];电子元件与材料;1985年05期
9	陈治明;非晶硅膜爆发结晶中的螺线形成机理[J];半导体学报;1986年01期
10	曲喜新;固体钽电解电容器的进展[J];电子元件与材料;1986年02期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	袁怀雨;刘保顺;李克庆;;尾矿利用新途径——制造微晶玻璃花岗岩[A];1997中国钢铁年会论文集（上）[C];1997年
2	王维东;王勇;何艳玲;;焊接对喷瓷管线涂层的影响[A];第九次全国焊接会议论文集（第1册）[C];1999年
3	陈晓风;孙长义;贾时君;胡传顺;;电子束表面熔凝处理获得大面积表面Ti-Ni非晶层的研究[A];第九次全国焊接会议论文集（第1册）[C];1999年
4	朱津蓉;赵云凤;陈新民;王华蓉;;VITA MK Ⅱ切削陶瓷的颜色分析[A];中华口腔医学会第三次全国口腔修复学术会议论文集[C];1997年
5	林揆训;林璇英;梁厚蕴;池凌飞;余楚迎;石旺舟;姚若河;黄创君;杨坤进;;铝诱导的非晶硅薄膜低温快速晶化[A];2000年材料科学与工程新进展（上）——2000年中国材料研讨会论文集[C];2000年
6	于振瑞;YasuhiroMatsumoto;;掺杂浓度对a-Si:H薄膜低温铝诱导晶化的影响[A];中国第六届光伏会议论文集[C];2000年
7	周之斌;丁正明;崔容强;胡宏勋;孙铁囤;徐秀琴;陈东;;ITO薄膜:从(400)到(222)择优晶化[A];中国第六届光伏会议论文集[C];2000年
8	王瑞春;沈鸽;袁骏;张溪文;赵高凌;翁文剑;韩高荣;杜丕一;;Al金属诱导氢化非晶硅(a-Si:H)晶化的研究[A];2000年材料科学与工程新进展（下）——2000年中国材料研讨会论文集[C];2000年
9	冯勇;朱美芳;刘丰珍;刘金龙;韩一琴;;热丝助PECVD低温多晶硅薄膜制备的研究[A];中国第六届光伏会议论文集[C];2000年
10	许颖;罗欣莲;励旭东;王文静;于元;李仲明;;区熔再结晶法制备多晶硅薄膜的研究[A];中国第六届光伏会议论文集[C];2000年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	刘传珍;低温多晶硅材料及其器件的研究[D];中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;2000年
2	黄平;纳米晶巨磁光多层膜材料及应用研究[D];电子科技大学;2000年
3	王永睿;纳米β分子筛制备、改性及催化性能初探[D];石油化工科学研究院;2000年
4	张义华;钛基催化材料的合成、表征和选择氧化性能研究[D];大连理工大学;2001年
5	李永生;ZSM-5沸石膜的合成及渗透性能研究[D];大连理工大学;2001年
6	刘中清;MWW结构分子筛的合成、表征及其催化烃裂化反应性能的研究[D];石油化工科学研究院;2001年
7	祁晓岚;十二员环沸石合成、表征及催化性能研究[D];石油化工科学研究院;2001年
8	秦燕军;牙科CAD/CAM加工用可切削云母微晶玻璃的研究[D];第四军医大学;2001年
9	李红;以钙云母为主相的高强度可切削牙科微晶玻璃的研究[D];四川大学;2002年
10	李刚;Zr基非晶合金激光熔覆与诱导自蔓延合成[D];大连理工大学;2003年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	王晓东;大块非晶合金形成能力与稳定性研究[D];大连理工大学;2000年
2	周慎平;用不同配比度的预烧粉末和陶瓷靶在Ag、Au、Pt底电极上溅射制取PZT铁电薄膜的研究[D];暨南大学;2000年
3	杜会静;激光烧蚀沉积硅基纳米材料及其特性研究[D];河北大学;2001年
4	黄创军;以SiCl_4为气源用PECVD方法低温沉积多晶硅薄膜[D];汕头大学;2001年
5	周洲;纳米4A分子筛的合成研究[D];汕头大学;2001年
6	彭文琴;CaO-MgO-Al_2O_3-SiO_2系微晶玻璃的研究[D];湖南大学;2001年
7	陈国周;小晶粒NaY分子筛合成探索[D];厦门大学;2001年
8	项黎新;水生动物组织细胞与水体环境重金属离子间的生态学研究[D];浙江大学;2001年
9	岳明波;以红辉沸石合成分子筛的研究[D];南京理工大学;2002年
10	王彦芳;激光熔覆非晶复合涂层及非晶晶化研究[D];辽宁工程技术大学;2002年

中国重要报纸全文数据库

前10条

1	吴琼;非晶硅压力传感器[N];中国电子报;2000年
2	张振华;钻石与男人[N];大众科技报;2000年
3	王新城;油墨的干燥性能对印刷产品的影响[N];中国包装报;2001年
4	刘家聚;包装印刷工艺与油墨成膜质量的关系[N];中国包装报;2002年
5	本报记者杨扬特约记者邹铁军;海晶何以赢得市场[N];中国化工报;2002年
6	天标技术发展中心;微晶石的独特生产工艺[N];中国建材报;2002年
7	天标技术发展中心;微晶石行业的第一“窑”[N];中国建材报;2002年
8	记者石明山通讯员于柏林;世界第一块能“记忆”的玻璃问世[N];科学时报;2002年
9	;砂金石釉的特征及组成[N];广东建设报;2003年
10	郭廷杰;日本积极开展纳米级钢铁材料研究[N];世界金属导报;2003年

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