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电化学刻蚀方法制备半导体材料纳米阵列

李国庆  刘爱民  潘萌  杜晓书  郭凡  
【摘要】:电化学刻蚀方法是一种非常简单实用的制备规则纳米阵列结构的方法。本文简述了用电化学刻蚀方法制备InP以及Si规则纳米阵列的方法。SEM图像给出了这些规则纳米阵列的结构。

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