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SrTiO_3衬底上溅射法外延生长PLZT薄膜

仇萍荪  程文秀  何夕云  郑鑫森  丁爱丽  
【摘要】:用射频磁控溅射法在SrTiO3衬底上外延生长PLZT薄膜,研究了不同的溅射工艺对薄膜生长速率的影响,探讨了不同的后期热处理条件与薄膜取向度的关系.在SrTiO3衬底上成功制备出外延生长的、厚度迭1.5μm的PLZT薄膜.

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