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ITO靶材的研究现状与发展趋势

李音波  李卫华  闫琳  余前春  韩志伟  
【摘要】:概述了ITO靶材的应用范围和日益增大的市场需求;对ITO靶材的加工技术和工艺进行了探讨,对ITO薄膜的特性进行了描述;并讨论了ITO靶材所面临的技术问题及发展趋势

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8 石河清;铟价坚挺 上升空间有限[N];中国有色金属报;2003年
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