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SOI在高压器件中的应用

王石冶  刘卫丽  张苗  林成鲁  宋志棠  
【摘要】:综述了绝缘层上的硅(SOI)材料在高压器件中的应用,分析了SOI高压器件的不同结构,并对现在最常用的RESURF LDMOS高压器件结构,以及不同器件参数对击穿电压的影响进行了分析和讨论。

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