PVD薄膜生长的Monte Carlo模拟

【摘要】：蒙特卡罗(Monte Carlo,MC)和分子动力学是模拟薄膜生长的两种基本方法。本文结合各种PVD技术的工艺特点,介绍了薄膜生长的MonteCarlo模拟。详尽地总结了载能粒子沉积薄膜生长的Kinetic Monte Carlo模型和算法。最后指出建立精细的模型、算法并适当应用分子动力学是提高模拟可靠性的方法。

下载App查看全文

下载全文更多同类文献个人查重>>智能排版>>

PDF全文下载

CAJ全文下载

(如何获取全文？欢迎：购买知网充值卡、在线充值、在线咨询)

CAJViewer阅读器支持CAJ、PDF文件格式，AdobeReader仅支持PDF格式

	【相似文献】
	【相似文献】

中国期刊全文数据库

前20条

1	吴克辉;李永庆;;拓扑绝缘体薄膜生长与栅电压调控输运特性研究[J];物理;2011年07期
2	吴霞;张锐;张而耕;;物理气相沉积涂层冲头开裂原因的失效分析[J];机械制造;2011年04期
3	孙玄;黄煦;王亚洲;冯庆荣;;MgB_2超薄膜的制备和性质研究[J];物理学报;2011年08期
4	李莉平;;TiN类膜制备工艺的研究进展及应用[J];产业与科技论坛;2011年04期
5	李洪涛;蒋百灵;杨波;曹政;;溅射环境下基片表面所受到的轰击能量研究[J];人工晶体学报;2011年03期
6	潘书万;亓东峰;陈松岩;李成;黄巍;赖虹凯;;Si(100)表面Se薄膜生长及其在Ti/Si欧姆接触中的应用[J];物理学报;2011年09期
7	马维云;;用PLD在不同衬底上制备Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜[J];科技传播;2011年18期
8	海辰;;辉门引以为傲的发动机技术(二)[J];汽车与配件;2011年39期
9	杨晓萍;郑殊;王正汹;刘悦;;动力学Monte Carlo模拟原子相互作用对薄膜外延生长的影响[J];纳米科技;2011年03期
10	盛明裕;赵源;刘富强;胡巧多;郑玉祥;陈良尧;;等离子体辅助电子束蒸发低温制备SiO_2纳光子薄膜[J];红外与毫米波学报;2011年03期
11	王金发;宋学全;张珂禹;;精密复杂高速钢刀具涂层技术分析[J];机械工程师;2011年07期
12	李振豪;李琳;普朝光;;应用于非制冷焦平面器件上的PMN-PT铁电薄膜[J];硅酸盐学报;2011年09期
13	李洪涛;蒋百灵;杨波;曹政;;一种新颖的磁控溅射纯Cr薄膜结构区域模型[J];人工晶体学报;2011年04期
14	颜超;;载能Ni原子斜入射Pt(111)表面的分子动力学模拟[J];计算物理;2011年05期
15	;[J];;年期
16	;[J];;年期
17	;[J];;年期
18	;[J];;年期
19	;[J];;年期
20	;[J];;年期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	单英春;赫晓东;李明伟;李垚;史丽萍;;PVD薄膜生长的Monte Carlo模拟[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅱ[C];2004年
2	陈书汉;江绍基;;微纳结构薄膜生长蒙特卡罗模拟研究[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年
3	张政军;;物理气相沉积制备纳米结构薄膜[A];TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2009年
4	刘雄英;黄光周;范艺;于继荣;;原子层沉积技术及应用发展概况[A];全国薄膜技术学术研讨会论文集[C];2006年
5	刘昌辉;何华辉;;基片上薄膜生长过程的计算机模拟[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅱ[C];2004年
6	黄文;周立勋;魏贤华;朱俊;张鹰;蒋书文;李言荣;;CoFe_2O_4薄膜生长过程研究[A];第14届全国晶体生长与材料学术会议论文集[C];2006年
7	王全彪;杨瑞东;杨宇;;Si(100)-(2×1)表面上Si薄膜生长的模拟研究[A];第14届全国晶体生长与材料学术会议论文集[C];2006年
8	顾彪;徐茵;秦福文;王三胜;隋郁;;立方GaN结晶薄膜生长中的ECR等离子体[A];2000年材料科学与工程新进展（上）——2000年中国材料研讨会论文集[C];2000年
9	周耐根;周浪;朱圣龙;;斜入射对物理气相沉积铜膜结构的影响[A];2002年材料科学与工程新进展（下）——2002年中国材料研讨会论文集[C];2002年
10	雷平水;史伟民;郭燕明;邱永华;潘美军;;PVD法制备多晶碘化汞膜的光电特性研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅰ[C];2004年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	鄢志丹;超高真空有机分子薄膜生长实时原位荧光显微方法与系统[D];天津大学;2010年
2	蔡清元;薄膜生长的宽光谱监控技术及其应用研究[D];复旦大学;2011年
3	吴锋民;超薄薄膜各向异性生长的KMC模拟[D];浙江大学;2005年
4	任树洋;强磁场对真空蒸发薄膜生长的影响研究[D];上海大学;2011年
5	马春雨;高k-ZrO_2基薄膜生长行为及其稳定性的研究[D];大连理工大学;2006年
6	陈利;Ti-Al-N基硬质涂层的热稳定性能、微结构及其力学、切削性能的研究[D];中南大学;2009年
7	陈征;Si基SiC薄膜和低维SiO_2的生长及其光致发光机理研究[D];中国科学技术大学;2007年
8	关丽;脉冲激光沉积技术中等离子体演化及薄膜生长的模拟研究[D];华中科技大学;2006年
9	刘玫;脉冲激光沉积（PLD）碲镉汞（HgCdTe）薄膜材料结构特性的研究[D];山东师范大学;2009年
10	俞晓正;微颗粒表面磁控溅射镀膜研究[D];北京航空航天大学;2008年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	荣海波;薄膜生长初期的蒙特卡罗模拟研究[D];大连理工大学;2010年
2	陈丹丹;（001）和（110）表面上薄膜生长特性的研究[D];东北大学;2008年
3	毛文;薄膜生长的数值模拟及实验验证[D];大连理工大学;2012年
4	胡晓琴;钙钛矿型铁电体原子间相互作用势的优化及应用[D];湘潭大学;2010年
5	杨宁;薄膜生长的理论模型和蒙特卡罗模拟[D];北京工业大学;2000年
6	赵远;LSCO/PZT/LSCO集成铁铁薄膜生长长性能研究[D];华中科技大学;2011年
7	张超;低能Pt原子与Pt（111）表面相互作用的分子动力学模拟[D];大连理工大学;2005年
8	张雪锋;薄膜三维生长的Kinetic Monte Carlo模拟[D];华中科技大学;2004年
9	陆杭军;非均匀基底上薄膜生长的计算机模拟[D];浙江师范大学;2005年
10	钱文富;基于低温表面改性技术提高齿轮传动副性能的研究[D];重庆大学;2005年

中国重要报纸全文数据库

前10条

1	;形成电磁波干扰遮蔽膜的方法[N];中国有色金属报;2002年
2	;新当选中国科学院院士薛其坤简介[N];新清华;2005年
3	赵艳秋穆强编译;原子层淀积点亮超薄薄膜未来[N];中国电子报;2002年
4	本报记者石伟;把握微电子技术增强自主创新能力[N];经济日报;2001年
5	过国忠实习生张积勇;施正荣：中国能源新技术发展的推进者[N];科技日报;2004年
6	CCID微电子研究所;我半导体专用设备市场升温[N];中国电子报;2002年
7	宗林;芯片上的图书馆已不是梦想[N];中国化工报;2004年
8	薛群基陈建敏;固体润滑材料[N];光明日报;2000年
9	北京大学物理系赵凯华;纳米艺术美不胜收[N];科技日报;2001年
10	;关注触摸屏等新应用市场[N];中国电子报;2009年

	快捷付款方式		订购知网充值卡	订购热线	帮助中心
	微信支付支付宝银行卡	知网卡在线购卡更多>>	免费送卡上门银行汇款购卡邮局汇款购卡	400-819-9993 010-62982499 010-62783978	常见问题在线咨询阅读器下载	充值中心知网卡新手指南