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乙醇对金刚石膜生长特性的影响

李春燕  金曾孙  吕宪义  
【摘要】:采用EA-CVD(Electron Assisted Chemical VaporDeposition)方法制备金刚石厚膜,在反应气体(CH4+H2)中添加乙醇,在保持其它条件不变的情况下研究了不同乙醇流量对金刚石膜生长的影响.利用拉曼光谱和SEM等测试方法对金刚石膜进行了表征,证实乙醇电离时产生的氢氧键对金刚石有很强的刻蚀作用.在沉积过程中向系统中加入乙醇对金刚石膜表面形貌有显著的影响,适量的乙醇有利于提高膜品质和生长速率,但过量的乙醇会导致对金刚石表面的刻蚀加剧,使金刚石膜的生长受到抑制.

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