超硬超厚类金刚石薄膜合成研究

【摘要】：采用过滤真空阴极直流弧源(FilteredCathodic Vicuum Arc Deposition,FCVA)方法沉积超硬(6000HV)超厚(微米级)的DLC/DLC多层薄膜.通过显微硬度、内应力测量、XPS等方法表明,该薄膜显著优于普通单层薄膜.

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中国期刊全文数据库

前20条

1	谢红梅;;类金刚石薄膜的摩擦学特性研究进展[J];表面技术;2011年03期
2	王智;;射频感应耦合化学气相沉积类金刚石薄膜的摩擦性能研究[J];河北化工;2011年07期
3	;中科院兰州化物所:类金刚石薄膜的润滑研究取得新进展[J];中国材料进展;2011年05期
4	;类金刚石薄膜的润滑研究取得新进展[J];稀土;2011年03期
5	;中科院兰州化学物理研究所类金刚石薄膜的润滑研究取得新进展[J];稀土信息;2011年05期
6	王智;;掺硅类金刚石薄膜的制备及其微观机械性能研究[J];河北化工;2011年08期
7	;《表面技术》2011年第3期[J];表面工程资讯;2011年03期
8	Herbert Gabriel;;防腐蚀超厚涂层在飞机发动机上的应用[J];现代制造;2010年47期
9	贺鹏;郭振涛;张龙;李铁军;康兴川;郑金美;李淑凤;;高填料、超厚防辐射屏蔽材料的研制[J];中国塑料;2011年04期
10	;极度视觉[J];经理人;2011年07期
11	赵燕;;对悬辊法制作排水管质量的分析[J];大众标准化;2007年S2期
12	桂艳;;热浸Zn-Sn-Ni合金镀层的显微组织及耐蚀性能[J];钢铁钒钛;2011年03期
13	;[J];;年期
14	;[J];;年期
15	;[J];;年期
16	;[J];;年期
17	;[J];;年期
18	;[J];;年期
19	;[J];;年期
20	;[J];;年期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	张文英 ;黄楠 ;孙鸿 ;冷永祥 ;杨文茂 ;陈俊英;;超硬超厚类金刚石薄膜合成研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅱ[C];2004年
2	李红轩;徐洮;陈建敏;周惠娣;刘惠文;;纳米类金刚石薄膜的制备及性能研究[A];纳米材料和技术应用进展——全国第三届纳米材料和技术应用会议论文集（下卷）[C];2003年
3	胡芳;代明江;林松盛;;微喷砂预处理对硬质合金上沉积类金刚石薄膜结合力的影响[A];TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2009年
4	梁海锋;严一心;;类金刚石薄膜的光学性能的研究[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
5	熊礼威;;星形MPCVD装置上制备类金刚石薄膜的研究[A];第十三届全国等离子体科学技术会议论文集[C];2007年
6	阎兴斌;徐洮;王博;王晓波;杨生荣;;聚合物热解制备纳米类金刚石薄膜及其结构表征[A];纳米材料和技术应用进展——全国第三届纳米材料和技术应用会议论文集（下卷）[C];2003年
7	姜金龙;郝俊英;刘维民;;Ti/Si共掺杂含氢类金刚石薄膜的摩擦学性能研究[A];TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2009年
8	张万虎;谭宇;师建涛;刘永强;胡仓陆;黄祥成;;射频等离子体法制备类金刚石薄膜[A];TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2003年
9	王艳丽;苏克和;王欣;刘艳;;金刚石晶体掺杂B、N、P、Al、Si的abinitio研究[A];中国化学会第27届学术年会第14分会场摘要集[C];2010年
10	周鸿飞;马洪涛;;使用拉曼光谱对类金刚石薄膜进行结构分析的方法[A];薄膜技术高峰论坛暨广东省真空学会学术年会论文集[C];2009年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	刘贵昂;类金刚石薄膜a-SiC:H薄膜及环境因素对其结构与特性的影响[D];西南交通大学;2002年
2	李之杰;碳团簇沉积类金刚石薄膜机制的分子动力学模拟研究[D];复旦大学;2004年
3	王云锋;复合类金刚石薄膜的制备及其摩擦性能研究[D];兰州大学;2012年
4	李伯刚;类金刚石薄膜血液相容性的研究[D];四川大学;2004年
5	尹路;渗氮类金刚石膜应用于齿科纯钛的实验研究[D];第四军医大学;2008年
6	刘凡新;高密度硬盘磁头用超薄类金刚石薄膜的研究[D];华中科技大学;2007年
7	梅显秀;强流脉冲离子束类金刚石薄膜沉积及高速钢辐照处理研究[D];大连理工大学;2002年
8	高鹏;等离子体增强沉积C-N-Si超薄保护膜[D];大连理工大学;2007年
9	李瑞山;电化学沉积类金刚石薄膜及其场发射性能研究[D];兰州大学;2009年
10	龚峰;T2紫铜薄板微成形摩擦尺寸效应与润滑研究[D];哈尔滨工业大学;2010年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	夏天荣;脉冲激光沉积类金刚石薄膜过程中工艺参数对薄膜质量影响的研究[D];合肥工业大学;2010年
2	赵茜;用于OLED封装的类金刚石薄膜的研究[D];电子科技大学;2011年
3	骆仕丹;类金刚石薄膜的相变参数研究和应用[D];西南交通大学;2010年
4	江河清;液相电沉积类金刚石薄膜及掺杂类金刚石薄膜[D];河南大学;2004年
5	唐定平;掺硅类金刚石薄膜研究[D];四川师范大学;2010年
6	张林州;类金刚石薄膜的分子动力学和第一性原理研究[D];燕山大学;2012年
7	吴远方;AZ91镁合金表面类金刚石薄膜的制备、结构及性能研究[D];南京理工大学;2010年
8	蒋宏伟;超厚底板高性能混凝土研究与应用[D];沈阳建筑大学;2011年
9	黄国俊;硅/锗掺杂类金刚石薄膜特性研究[D];西安工业大学;2011年
10	陈隽峰;高层建筑超厚底板大体积混凝土施工技术[D];重庆大学;2003年

中国重要报纸全文数据库

前10条

1	稽训烨应浩;15～19毫米超厚浮法玻璃的生产[N];中国建材报;2004年
2	李桂英;信义玻璃700t/d优质浮法玻璃生产线投产[N];中国建材报;2006年
3	本版编辑薛升波谷安伟;莱钢板带产品向超薄超厚发展[N];中国冶金报;2007年
4	周茂林;青岛威尔推出环保型PVC超厚木塑板生产线[N];中国建材报;2009年
5	通讯员何心向　记者张晓鸣;宝钢超厚超重不锈钢进核“心”[N];文汇报;2011年
6	黄光伟;富士通DPK890可打超厚票据证件[N];电脑商报;2007年
7	周颖;PVC超厚木塑板生产设备实现国产[N];中国化工报;2007年
8	杨红岩;分析探讨超厚浮法玻璃的退火技术[N];中国建材报;2007年
9	单群一;富士通超厚票证打印机上市[N];中国税务报;2007年
10	公叶;马钢四钢轧2.5mm带钢超厚镀层试镀成功下线[N];世界金属导报;2008年

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