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氮气流量对金刚石膜生长的影响研究

李明吉  吕宪义  孙宝茹  金曾孙  
【摘要】:采用电子辅助化学气相沉积法(EA-CVD)制备掺氮金刚石薄膜,研究了不同氮气流量对金刚石膜的生长速率、表面形貌和膜品质的影响。实验发现,在较低的氮气流量下,金刚石膜的生长速率增加,在较高的氮气流量下生长速率减小。利用SEM、Raman光谱、XPS等测试手段对样品的表面形貌及品质进行了表征。结果表明,当氮气流量为4sccm时金刚石膜的结晶比较完整;当氮气漉量为8sccm时生成与(100)面共存的“莱花状”.氮气流量的进一步增加,“菜花”表面(100)晶面显露的数量明显降低,非金刚石碳含量和氮杂质含量增加,金刚石膜的品质明显下降.

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1 北京科技大学 吕反修;金刚石膜:带起一个产业群[N];科技日报;2001年
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