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硅碳氮薄膜的纳米硬度研究

彭晓峰  宋力昕  乐军  胡行方  
【摘要】:采用射频反应溅射工艺分别在含氮气氛中溅射SiC靶和在含碳气氛中溅射Si_3N_4靶制备了两种无定形硅碳氮薄膜.通过NanoIndenter XP型显微硬度分析仪来测量薄膜的硬度.分析了薄膜硬度与其组成结构的关系,结果表明Si-C键对薄膜的力学性能起主要作用.

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