收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

Ti-Si-N纳米薄膜的微结构及力学性能研究

姚应红  孔向阳  戴嘉维  李戈扬  
【摘要】:采用多靶磁控轮溅的方法沉积Ti-Si-N系纳米混合膜.利用XRD、TEM以及EDS等手段分析了薄膜的相组成及微结构.研究结果表明,薄膜以TIN为主晶相,并有一定量的Si_3N_4化合物相存在.这些化合物是非晶或纳米晶沿TiN晶界相分布,抑制了TiN晶粒生长,使TiN也是纳米晶.随Si含量的增加,薄膜中Si_3N_4化合物相增加,薄膜的非晶化程度提高。压痕法对薄膜的硬度测量结果表明,薄膜在低Si含量4at%时,表现出高硬度,其值超过35GPa;然而当薄膜中Si含量超过15at%时,薄膜硬度低于TiN薄膜的硬度,其原因与薄膜中非晶态化合物的含量增加有关.

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 刘伟明;李静;李胜利;李士刚;朱新德;李洪;;低温燃烧合成铬酸镧纳米粉体的结构特性[J];硅酸盐学报;2006年10期
2 黄宝歆;;用射频磁控溅射法制备金属/半导体颗粒膜[J];大学物理;2007年09期
3 刘翠青;陈城钊;邱胜桦;吴燕丹;李平;余楚迎;林璇英;;衬底温度对纳米晶硅薄膜微结构的影响[J];材料研究与应用;2008年04期
4 ;快速固化Fe-Al合金的微结构和软磁性[J];真空电子技术;1989年02期
5 李成仁,李亚录,周廉;BPSCCO/Ag超导复合带的物理冶金特性[J];稀有金属材料与工程;1992年02期
6 秦勇,寇昕莉,薛德胜,李建功;Fe_xCo_(1-x)合金纳米片的微结构与磁性[J];中国有色金属学报;2005年11期
7 肖轶群;沈军;周斌;吴广明;徐超;薛辉;;椭偏光度法研究溶胶-凝胶SiO_2薄膜的光学性能[J];原子能科学技术;2005年06期
8 陈国华;刘心宇;;玻璃陶瓷复合材料的制备、微结构和性能[J];中国有色金属学报;2006年05期
9 陈国华;刘心宇;;低温烧结玻璃/陶瓷复合材料的微结构及性能[J];硅酸盐学报;2006年08期
10 杨荣泽;林圣敏;颜富士;陈智成;;氧化铝粉末系统微结构对θ到α相转换温度的影响[J];过程工程学报;2006年S2期
11 徐晔;李刘合;蔡珣;陈秋龙;朱建豪;;直流磁控溅射Ti-Si-N超硬纳米复合膜的结构与力学性能[J];上海交通大学学报;2007年03期
12 李敏;柴寿喜;魏丽;;天然与浸泡SH胶麦秸秆微结构指标的对比分析[J];天津城市建设学院学报;2009年01期
13 蔚翠;朱铁军;肖凯;金吉;沈俊杰;杨胜辉;赵新兵;;快速凝固法制备ZrNiSn基Half-Heusler热电材料的微结构[J];无机材料学报;2010年06期
14 董云杉,孔明,胡晓萍,李戈扬,顾明元;反应溅射Ti-Al-Si-N纳米晶复合薄膜的微结构与力学性能[J];功能材料;2005年01期
15 李海涛,彭向和,陈伟民;基于链化分析的磁流变液剪切屈服应力模型[J];化学物理学报;2005年04期
16 孙军龙;邓建新;刘长霞;;制备工艺对B_4C/TiB_2/Mo/C陶瓷复合材料力学性能和显微结构的影响(英文)[J];人工晶体学报;2006年04期
17 梅辉;成来飞;张立同;徐永东;孟志新;刘持栋;;2维C/SiC复合材料的拉伸损伤演变过程和微观结构特征[J];硅酸盐学报;2007年02期
18 万欣娣;任凤章;刘平;贾淑果;田保红;王文焱;;河蚌壳的微结构及热力学分析[J];材料热处理学报;2007年02期
19 郑傲然;周明;杨加宏;;仿生超疏水表面的制备及润湿性研究[J];功能材料;2007年11期
20 左卫群;成钢;;退火温度及薄膜厚度对Co-Ag颗粒膜结构及巨磁电阻效应的影响[J];电工材料;2008年01期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 姚应红;孔向阳;戴嘉维;李戈扬;;Ti-Si-N纳米薄膜的微结构及力学性能研究[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
2 许辉;祝新发;胡祖光;刘艳;李戈扬;;反应溅射(Al,Ti)(O,N)涂层的微结构与力学性能[A];第六届全国表面工程学术会议论文集[C];2006年
3 褚宁杰;王新庆;李良;金顶峰;孙丽娜;金红晓;卢琴;汤铨;刘亚丕;葛洪良;;Fe/Al_2O_3催化剂对纳米碳管制备及结构的影响[A];2008全国功能材料科技与产业高层论坛论文集[C];2008年
4 郑静植;吕琛琛;郑成赋;周兴平;解孝林;;聚合物/二氧化硅微纳米复合材料的分散方法与性能[A];2009年全国高分子学术论文报告会论文摘要集(下册)[C];2009年
5 肖瑛;韩高荣;;纳米硅镶嵌复合薄膜退火前后的微结构及其发光特性比较研究[A];TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2003年
6 刘永胜;张立同;成来飞;徐永东;杨文彬;;沉积温度对LPCVD-BC_x形貌和成键的影响[A];第十五届全国复合材料学术会议论文集(上册)[C];2008年
7 宋凡;;生物复合材料中的结构与性能关联[A];第十五届全国复合材料学术会议论文集(上册)[C];2008年
8 张俊虎;杨柏;;基于自组装胶体晶体构筑有序微结构[A];2009年全国高分子学术论文报告会论文摘要集(上册)[C];2009年
9 张俊虎;孙志强;李云峰;张学民;杨柏;;以胶体晶体为模板构筑二维有序微结构[A];2009年全国高分子学术论文报告会论文摘要集(上册)[C];2009年
10 李正操;柳百新;;离子束操纵在若干Ag基合金系统中制备新型非平衡固体微结构[A];2002年材料科学与工程新进展(下)——2002年中国材料研讨会论文集[C];2002年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 彭美勋;球形氢氧化镍的微结构形成机理与电化学性能[D];中南大学;2004年
2 杜伟;MgB_2超导单晶生长研究[D];山东大学;2005年
3 孙艳;纳米永磁材料的微结构与有效各向异性及矫顽力[D];山东大学;2008年
4 曾庆丰;C/SiC复合材料优化设计[D];西北工业大学;2004年
5 张波;高价金属元素掺杂透明导电ITO薄膜的研究[D];上海交通大学;2009年
6 蔡琪;新型Ag-ITO复合薄膜的制备、微结构及光电性质表征[D];安徽大学;2007年
7 曹玮;原位TiC_p增强镁基复合材料制备及其性能研究[D];上海交通大学;2009年
8 陈永春;聚酯聚氨酯/SiO_2(TiO_2)纳米复合涂层的制备及表征[D];复旦大学;2005年
9 史国华;硅系纳米复合薄膜的制备及其微结构、光电性能研究[D];浙江大学;2006年
10 张滨;几种低维材料的制备、微结构与性能[D];东北大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 王景雪;复合LB膜微结构的研究[D];河南大学;2004年
2 刘洪波;ZnO、Co纳米粒子制备的研究[D];南京理工大学;2004年
3 刘岭;超轻质材料和结构的协同分析与优化[D];大连理工大学;2006年
4 朱新宏;溶剂热法合成Sb_2Te_3基热电材料[D];武汉理工大学;2007年
5 吴莹;VN/SiO_2和TiAlN/Si_3N_4纳米多层膜的微结构、超硬效应与高温稳定性[D];上海交通大学;2008年
6 李永江;Sr_(0.5)Ba_(0.5)Nb_2O_6/Ni_(0.8)Zn_(0.2)Fe_2O_4基复合磁电陶瓷[D];浙江大学;2006年
7 肖瑛;APCVD制备纳米硅复合镶嵌薄膜及其微结构与性能研究[D];浙江大学;2004年
8 刘剑;Ti-Cr-V系储氢合金的微结构及储氢特性研究[D];浙江大学;2005年
9 王丽春;过渡层对热丝法低温制备多晶硅薄膜的影响[D];大连理工大学;2008年
10 邓婉婷;多晶硅薄膜ECR-PECVD低温生长结构研究[D];大连理工大学;2008年
中国重要报纸全文数据库 前9条
1 斯人;新型纳米阻燃材料领先国际[N];中国房地产报;2004年
2 郭海宇 高建敏;“静厚新”:走向实战的科研团队[N];科技日报;2009年
3 ;中国纳米成就[N];计算机世界;2001年
4 ;中国科技大学高分子阻燃材料研制成功[N];今日信息报;2003年
5 刘霞;科学家制造出超韧金属蜘蛛丝[N];科技日报;2009年
6 新华;超级金属蜘蛛丝强度比钢高两倍[N];中国质量报;2009年
7 滕继濮;隐身衣:到底能干嘛?[N];科技日报;2009年
8 晓枫;日本昭和电工加速量产碳纳米管[N];中国建材报;2009年
9 王小龙 何屹;人造大脑构建工程迈出重要一步[N];科技日报;2011年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978