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气相沉积Ni薄膜的微结构和力学性能

劳技军  韩增虎  田家万  李戈扬  杨春生  
【摘要】:气相沉积Ni薄膜是微机械技术中的重要材料.本文采用SEM、TEM、AFM和毫牛力学探针研究了不同沉积温度下Ni薄膜的微结构和力学性能,并研究了基片温度对其微结构和力学性能的影响.结果表明,室温下溅射沉积的Ni薄膜晶粒细小,表面胞状组织细密,薄膜表现出较高的硬度和弹性模量.随基片温度的提高,薄膜晶粒长大,胞状组织粗化;相应地,薄膜的硬度明显降低,弹性模量亦有小幅下降.

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