氮化碳薄膜的冷阴极电子场发射特性研究

【摘要】：采用低压等离子体增强化学气相沉积法(LP-PECVD)制备氮化碳薄膜;低能离子注入机对制备的薄膜进行N_2~+注入掺杂.X射线光电子能谱(XPS)分析了N_2~+注入前后氮化碳薄膜中N、C的含量及其结合能的变化情况;10~(-6)Pa超高真空下对注入前后的氮化碳薄膜进行了电子场发射测试,发射起始场强≤2.5V/μm,稳定发射电流≥1mA/cm~2;结果表明,经N_2~+注入后的氮化碳薄膜的电子场发射特性得到明显增强.

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1	李助军;陈泽宇;陈选民;朱繁康;;氮化激光淬火复合处理对18Cr2Ni4WA钢耐磨性能的影响[J];热加工工艺;2011年14期
2	叶金文;刘颖;郑华雄;陈先富;廖立;;Sm_2Fe_(17)N_x的结构精修分析[J];稀有金属材料与工程;2011年06期
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4	崔丽君;王玉良;;混气喷涂技术在工程机械中的应用探讨[J];机械工程师;2011年08期
5	;[J];;年期
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中国重要会议论文全文数据库

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1	路险峰;李金钗;郭怀喜;张志宏;叶明生;;氮化碳薄膜的冷阴极电子场发射特性研究[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
2	柯澤豪;;高性能碳纖維與複合材料[A];2010年海峡两岸功能性复合材料论坛论文集[C];2010年
3	姜祥祺;加藤隆男;;氮化钽场发射阴极的制作及其特性的研究[A];中国真空学会科技进步奖（1994-2000）得奖人员论文集[C];2000年
4	王坤荣;;浅谈氯化层组织和大功率柴油机曲轴的氮化胀量控制[A];江苏省机械工程学会第六次会员代表大会论文集[C];2002年
5	施维;凌浩;孙剑;章企;吴嘉达;应质峰;丁训民;李富铭;;ECR等离子体辅助反应脉冲激光沉积氮化碳薄膜[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
6	晁月盛;耿岩;张艳辉;陈文兰;谢寅波;;转炉烟尘制备氮化铁磁性材料及其性能的研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅰ[C];2004年
7	高鹏;徐军;王德和;邓新绿;董闯;;双放电腔微波ECR等离子体增强非平衡磁控溅射沉积氮化碳薄膜[A];2004年中国材料研讨会论文摘要集[C];2004年
8	许榮宗;黃知澍;葉文勇;蔡政達;郭義德;卓昌正;;氮化銦鎵發光二極體芯片之斜面加工及其對發光效率之影響[A];海峡两岸第十一届照明科技与营销研讨会专题报告文集[C];2004年
9	郭其新;;半导体氮化铟纳米结构的生长和分析[A];科技、工程与经济社会协调发展——中国科协第五届青年学术年会论文集[C];2004年
10	赵银峰;齐越;刘中民;;Ni催化低温制备氮化介孔材料[A];第十三届全国催化学术会议论文集[C];2006年

中国博士学位论文全文数据库

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1	秦福文;RHEED原位监测的PEMOCVD方法及GaN基薄膜低温生长[D];大连理工大学;2004年
2	吴自力;负载型氮化钼催化剂上简单的分子吸附和活化的红外光谱研究[D];中国科学院大连化学物理研究所;2001年
3	孙继兵;Sm-Fe与Sm-Fe-M（M=Ti,Nb）合金及其氮化物磁性材料的研究[D];河北工业大学;2004年
4	张金柱;锰铁渗氮的热力学和动力学研究[D];重庆大学;2004年
5	于威;晶态氮化碳薄膜沉积及其生长机理研究[D];河北大学;2002年
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10	黄卫东;高可靠性电子封装中防潮薄膜技术的研究[D];中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）;2003年

中国硕士学位论文全文数据库

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1	李会军;氮化碳薄膜场致电子发射特性研究[D];郑州大学;2002年
2	闫永辉;纳米晶氮化碳薄膜制备的研究[D];东华大学;2005年
3	王淑芳;脉冲激光沉积氮化碳薄膜及其生长机理研究[D];河北大学;2000年
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5	袁保合;等离子体增强CVD合成碳薄膜及其微观结构研究[D];兰州大学;2006年
6	刘廷军;氮化锰制取机理及工艺研究[D];重庆大学;2003年
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8	葛伟萍;合金元素对氮化硅制备的影响与研究[D];昆明理工大学;2003年
9	侯海虹;氮化硅薄膜的螺旋波PECVD及其光学特性研究[D];河北大学;2003年
10	杜伟;碳氟等离子体中基团分布及其对a-C：F薄膜结构的影响[D];苏州大学;2003年

中国重要报纸全文数据库

前10条

1	特约撰稿张树云;碳化硅陶瓷的制作与应用[N];广东建设报;2004年
2	刘碧玛;我国研制成功氮化镓基蓝光激光器[N];科技日报;2004年
3	邵珍珍本报记者张显峰;蓝光半导体激光器让300张光盘变1张[N];科技日报;2005年
4	廖川;胜岛氮化油管销量超百万米[N];中国石化报;2006年
5	;悬浮燃烧连续氮化新技术的研究进展[N];科技日报;2004年
6	银河证券曹远刚;锌业股份半导体金属黑马股[N];中国证券报;2004年
7	通讯员　廖川;氮化油管成为市场“明星”[N];中国石油报;2006年
8	薛文东赵勇;β-sialon-Al_(2)O_(3)复合耐火材料（2）[N];世界金属导报;2007年
9	首席记者张苓;国内最大的氮化铬铁生产线投产[N];中国冶金报;2007年
10	周辛立;宁夏中宏氮化硅锰达国际水平[N];中国冶金报;2007年

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