收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

多晶硅薄膜材料的准分子激光烧结制备与性能研究

邱法斌  张玉  骆文生  刘传珍  荆海  黄锡珉  
【摘要】:在玻璃衬底上采用PECVD法制备a-Si:H薄膜基础上,采用308nmXeCl激光器对所制备的薄膜进行了激光晶化烧结,利用XRD、Raman、SEM及电学性能测试等方法对所制备多晶硅薄膜材料的结构与性能进行了研究.

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 沈以赴,冯尚龙,李景新,黄因慧,杨明川;纳米WC/Co经激光烧结后的晶粒再细化[J];焊接学报;2005年01期
2 蒋荣华;邓良平;冯地直;肖顺珍;汪光裕;;国内外硅材料的最新发展[J];新材料产业;2007年10期
3 王军,祁康成,成建波;多晶硅薄膜的工艺研究[J];材料热处理学报;2004年04期
4 李玉龙,关庆丰,胡建东,王存山;激光辐射烧结法制备铁/铜梯度复合材料[J];科学通报;1997年23期
5 沈理达;王东生;黄因慧;田宗军;花国然;;Al_2O_3-TiO_2纳米团聚颗粒及其激光烧结体微观形貌[J];机械工程材料;2008年10期
6 ;无机粉体[J];中国粉体工业;2008年05期
7 马蕾,简红彬,康建波,彭英才;多晶硅薄膜制备技术的研究进展[J];河北大学学报(自然科学版);2005年01期
8 李进;祖银芳;;国内多晶硅生产现状与发展[J];科技创新导报;2008年03期
9 廖燕平,邵喜斌,吴渊,骆文生,付国柱,荆海,马凯;用金属诱导准分子激光晶化法制备多晶硅薄膜[J];液晶与显示;2005年02期
10 胡建东,李玉龙,李章,卜宪章,关振中,王利春;铁基粉末冶金压坯激光烧结研究[J];中国激光;1992年07期
11 史珺;;能源材料的王者之道:“更快、更高、更强”[J];新材料产业;2008年08期
12 何宇亮,余明斌,刘剑,徐士杰;纳米硅薄膜中的微晶粒具有量子点功能[J];仪器仪表学报;1996年S1期
13 李景新;激光烧结纳米Al_2O_3陶瓷的研究[J];电加工与模具;2004年03期
14 赵涛,张毅,陈英颖,吴则嘉,刘晓晗,杨晟远,张林春;纳米硅薄膜的镜反射红外光谱研究[J];理化检验.物理分册;2005年02期
15 江兴流,何宇亮,陈思富,李国华;高功率脉冲电子束制备纳米硅薄膜及其发光特性研究[J];仪器仪表学报;1996年S1期
16 张晓丹 ,高艳涛 ,赵颖 ,朱锋 ,魏长春 ,孙建 ,耿新华 ,熊绍珍;VHF-PECVD制备微晶硅材料的均匀性及其结构特性的分析[J];液晶与显示;2005年02期
17 ;《新材料产业》2008年重点栏目总目录[J];新材料产业;2008年12期
18 夏冬林;杨晟;赵修建;;铝诱导晶化P型非晶硅薄膜实验研究[J];纳米科技;2005年05期
19 张兴丽;孙兆伟;;空位缺陷对单晶硅薄膜热导率影响的分子动力学模拟研究[J];材料导报;2011年12期
20 李景新;激光烧结纳米Al_2O_3微观结构研究[J];上海理工大学学报;2005年01期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 邱法斌;张玉;骆文生;刘传珍;荆海;黄锡珉;;多晶硅薄膜材料的准分子激光烧结制备与性能研究[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
2 汪雷;王晓泉;龚灿峰;席珍强;杨德仁;;PECVD法生长氮化硅薄膜对多晶硅少子寿命的影响[A];21世纪太阳能新技术——2003年中国太阳能学会学术年会论文集[C];2003年
3 吴嘉丽;李仁锋;谭刚;李红;;LPCVD多晶硅薄膜制备技术[A];第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛论文集[C];2006年
4 吴嘉丽;李仁锋;谭刚;李红;;LPCVD多晶硅薄膜制备技术[A];第六届全国表面工程学术会议论文集[C];2006年
5 朱亚滨;王志光;孙建荣;姚存峰;魏孔芳;缑洁;马艺准;申铁龙;庞立龙;盛彦斌;;离子辐照对硅薄膜晶化率和光学带隙的影响[A];第十四届全国核物理大会暨第十届会员代表大会论文集[C];2010年
6 俞诚;李建立;吴丹;吉鹏程;刘文龙;黄强;;真空薄膜SIPOS工艺与应用[A];江苏省真空学会第十一届学术交流会论文集[C];2007年
7 刘国栋;罗福;王贵兵;;飞秒激光辐照下硅薄膜的非傅里叶能量输运[A];中国工程物理研究院科技年报(2008年版)[C];2009年
8 曾祥斌;孙小卫;李俊峰;齐国钧;;电场增强金属诱导侧向晶化制备多晶硅薄膜和薄膜晶体管[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年
9 张军峰;陈强;张跃飞;刘福平;刘忠伟;;无机氧化硅薄膜制备的原位诊断及其特性研究[A];中国真空学会2008年学术年会论文摘要集[C];2008年
10 刘安生;邹具羚;袁建民;;SOI硅膜层中的缺陷观察[A];第六次全国电子显微学会议论文摘要集[C];1990年
中国博士学位论文全文数据库 前4条
1 李景新;纳米Al_2O_3粉末及其增强PS粉末激光烧结成形基础试验研究[D];南京航空航天大学;2002年
2 辛宗生;木塑材料快速成形件性能及其关键技术的研究[D];东北林业大学;2011年
3 陈立宝;锂离子电池高容量硅基薄膜负极材料的研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2007年
4 花国然;基于激光扫描的纳米陶瓷涂层及纳米结构块体制备技术的基础研究[D];南京航空航天大学;2003年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 毛文行;多晶硅锭中硬质夹杂性质与形成机理研究[D];南昌大学;2007年
2 张伟娜;冶金多晶硅的电学性能研究[D];大连理工大学;2008年
3 李蔚;晶体硅薄膜的低温制备技术及其性能研究[D];武汉理工大学;2009年
4 王林;低温和激光烧结纳米 ZnO气敏特性及应用研究[D];华中科技大学;2004年
5 刘润;激光烧结纳米陶瓷制备高性能涂层及其性能的试验研究[D];南京航空航天大学;2003年
6 李芬芬;激光烧结多孔金属的成形机理及实验研究[D];南京航空航天大学;2008年
7 王立建;酸腐多晶硅表面织构及氮化硅薄膜快速热处理性能的研究[D];河北工业大学;2007年
8 徐文婷;冶金法制备多晶硅的晶体生长及其杂质缺陷研究[D];昆明理工大学;2008年
9 詹宝华;APCVD法掺杂制备硅薄膜及其微结构与性能研究[D];浙江大学;2006年
10 朱建强;玻璃基板上硅薄膜结构和性能的研究[D];浙江大学;2005年
中国重要报纸全文数据库 前3条
1 记者 吴苡婷;让新材料改变我们的生活方式[N];上海科技报;2009年
2 李国兴;内蒙古硅材料研发中心成立[N];中国航天报;2010年
3 ;日开发高性能多晶硅薄膜制造技术[N];中国有色金属报;2003年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978