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纳米晶PZT/PT铁电薄膜的尺寸效应

马运新  宋世庚  苏树兵  郑应智  
【摘要】：采用sol-gel我们制备了PZT/PT纳米晶铁电薄膜.以ZrO(NO_3)_2代替Zr醇盐作为出发物.在PZT和Pt电极间插入PbTiO_3过渡层.退火方式为快速退火(RTA).根据XRD薄膜的晶粒尺寸在25nm到50nm之间.结果表明矫顽电场E_c密切相关于晶粒尺寸,随晶粒尺寸的增加而增加.

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