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功能薄膜微细图形制作新技术

赵高扬  赵桂荣  
【摘要】:在溶胶-凝胶制膜过程中引入化学修饰法,从而在溶胶中形成一种感光性螯合物,并使其保留在随后制备的凝胶薄膜之中,用特定波长的紫外光照射这种薄膜后,薄膜在有机溶剂中的溶解特性发生变化,利用这种特性可以获得凝胶薄膜的微细图形,再经过适当的热处理,除去有机物,就可获得非晶或晶态的无机薄膜的微细图形.用这种方法获得的陶瓷薄膜微细图形可以达到0.25μm.由于整个工艺过程中不使用腐蚀性溶液,所得微细图形规整,对基板无任何损伤.这种方法可应用于各种微细沟槽类基板的制作,如高密度硬盘基板,高密度衍射光栅等.

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