以GaAs为原材料低温制备GaN薄膜

【摘要】：以GaAs 为靶材料,用等离子体辅助反应脉冲激光沉积方法制备GaN 薄膜。我们在ECR 氮等离子体环境中用脉冲激光烧蚀多晶GaAs 靶进行GaN 薄膜的低温合成沉积。成分分析显示,得到的薄膜为富氮的GaN,各组份在膜层中分布均匀,未探测到As。化学结构分析表明,膜层中的Ga和N结合成键,在薄膜的红外透射谱上呈现强烈的Ga-N特征吸收峰。薄膜在可见波段呈现较高的透明性,其能隙宽度约为3.4 eV。

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2	陈学广;阎殿然;杨勇;董艳春;;等离子体反应合成铁铝尖晶石基复合材料[J];硅酸盐学报;2011年08期
3	;科学家将石墨烯聚光能力提高20倍[J];光机电信息;2011年09期
4	方合;王顺利;李立群;李培刚;刘爱萍;唐为华;;液相激光烧蚀合成ZnO及Zn/ZnO纳米颗粒及其光致发光性能[J];物理学报;2011年09期
5	韩芸;林金辉;单传省;;纳米氧化铝粉体的制备方法及应用[J];中国非金属矿工业导刊;2011年04期
6	钟雁;王乾;谢鹏程;杨卫民;;阻隔性高分子复合材料制备方法研究进展[J];塑料科技;2011年07期
7	朱冠芳;;吸波材料研究现状和发展趋势[J];科技创新导报;2011年17期
8	王晓宇;任慧;;不同孔径泡沫铝制备及性能表征[J];稀有金属材料与工程;2011年S1期
9	袁泉;郑勇;余海州;;放电辅助机械合金化快速合成Ti(C,N)粉体(英文)[J];Transactions of Nonferrous Metals Society of China;2011年07期
10	;[J];;年期
11	;[J];;年期
12	;[J];;年期
13	;[J];;年期
14	;[J];;年期
15	;[J];;年期
16	;[J];;年期
17	;[J];;年期
18	;[J];;年期
19	;[J];;年期
20	;[J];;年期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	凌浩;应质峰;吴嘉达;孙剑;施维;杜元成;李富铭;;以GaAs为原材料低温制备GaN薄膜[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
2	方容川;常超;廖源;崔景彪;;功能材料制备中的等离子体发光与过程选控[A];第九届全国发光学术会议摘要集[C];2001年
3	符冬菊;杜爱兵;刘旭光;韩培德;李天保;贾虎生;许并社;;等离子体条件下合成煤基洋葱状富勒烯的研究[A];2005年全国电子显微学会议论文集[C];2005年
4	钟晓霞;吴晓晨;;等离子体辅助模板沉积纳米结构介质材料:粒子流分布的数值模拟研究[A];第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集[C];2009年
5	严一心;;离子束与等离子体镀膜技术的研究[A];中国真空学会第六届全国会员代表大会暨学术会议论文摘要集[C];2004年
6	关波;傅正义;王皓;;直流电弧等离子体制备二氧化锡纳米粉末的研究[A];纳米材料和技术应用进展——全国第三届纳米材料和技术应用会议论文集（上卷）[C];2003年
7	马连喜;付广生;;激光等离子体气相合成纳米SiC陶瓷粉末[A];第九届全国相图学术会议论文集[C];1997年
8	胡鹏;袁方利;白柳杨;俞凌杰;陈运法;李晋林;;高频热等离子体制备形状可控的一维结构纳米材料[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集（6）[C];2007年
9	纪崇甲;;球形微米和纳米级SiO_2生产新工艺[A];纳米材料和技术应用进展——全国第三届纳米材料和技术应用会议论文集（上卷）[C];2003年
10	谭歆;周益春;郑学军;;脉冲激光沉积薄膜生长的计算机模拟[A];科技、工程与经济社会协调发展——中国科协第五届青年学术年会论文集[C];2004年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	傅磊;氢等离子体制备纳米硬质合金粉末的研究[D];清华大学;1997年
2	滕晓云;ZnO和ZnO基稀磁半导体薄膜的PLD法制备及其特性研究[D];河北工业大学;2007年
3	王新昌;脉冲激光沉积法制备硅基LiNbO_3薄膜及其性能研究[D];浙江大学;2005年
4	王佃刚;脉冲激光沉积羟基磷灰石/生物玻璃复合薄膜的研究[D];山东大学;2009年
5	张银珠;脉冲激光沉积法生长ZnMgO合金薄膜和Li-N共掺p型ZnO薄膜及紫外探测器的研制[D];浙江大学;2006年
6	王天生;YBa_2Cu_3O_（7-δ）和MgB_2超导薄膜的制备及微观结构表征[D];燕山大学;2006年
7	王永仓;双高掺杂锰氧化物薄膜的特性研究及薄膜生长的数值模拟[D];西北工业大学;2006年
8	赵磊;脉冲激光沉积纳米氧化钛薄膜及其光催化性能的研究[D];吉林大学;2008年
9	秦文峰;BTO基铁电薄膜的制备与介电性能研究[D];电子科技大学;2008年
10	仇明侠;Li掺杂p型Zn_（1-x）Mg_xO薄膜及ZnO和ZnMgO纳米材料的研究[D];浙江大学;2008年

中国硕士学位论文全文数据库

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1	李烨;衬底温度和激光强度对PLD制备ZnO薄膜性质影响的研究[D];东北师范大学;2009年
2	訾振发;纳米ZnO的制备、微结构及其特性的研究[D];安徽大学;2004年
3	晏锦辉;脉冲激光沉积法制备硅基掺Mn硅酸锌薄膜[D];浙江大学;2006年
4	王建禄;LSCO薄膜导电性能及其激光感生电压性质的研究[D];昆明理工大学;2005年
5	谢廷明;REBCO（RE=Y，Sm）高温超导薄膜的生长研究[D];电子科技大学;2005年
6	黄海辉;脉冲激光沉积法生长ZnMgO/ZnO多层结构以及Zn_（1-x）Mg_xO薄膜P型掺杂的研究[D];浙江大学;2006年
7	肖斌;PLD法生长锂掺杂p型ZnO薄膜及其性质研究[D];浙江大学;2006年
8	李娇;氧化锌纳米结构与薄膜的制备及光学特性研究[D];大连理工大学;2008年
9	曹亮亮;硅基铌酸锂薄膜的PLD生长及其性能研究[D];浙江大学;2005年
10	陈欣;脉冲激光沉积法制备ZnO:Al透明导电薄膜的研究[D];武汉大学;2005年

中国重要报纸全文数据库

前10条

1	孙勇;中国科研人员研究成功“万能”纳米技术[N];中国环境报;2004年
2	南开大学物理学院陶长远刘达清;碳化硅薄膜很优秀[N];科技日报;2002年
3	凌霏;化合物半导体：电子材料的新秀[N];解放日报;2001年
4	记者杨健;我国步入磁约束核聚变国际前沿[N];人民日报;2002年
5	;一种发光粉包封膜的制备方法[N];中国包装报;2004年
6	记者　李陈续、通讯员　程艳;我首个超导中心螺管原型线圈通过性能测试[N];光明日报;2003年
7	记者潘治;电磁波能激发物质超导特性[N];人民日报;2002年
8	璐璐;世界首只镓铟氮砷、镓砷多量子探测器研制成功[N];中国有色金属报;2005年
9	;塑料瓶内壁非晶碳镀膜机[N];中国包装报;2002年
10	;一种发光粉包封膜的制备方法[N];中国包装报;2004年

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