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CVD法大尺寸硫化锌(ZnS)多晶红外光学材料的生长

东艳苹  蔡以超  杨曜源  闫泽武  郝永亮  方珍意  肖红涛  
【摘要】:硫化锌(ZnS)晶体是一种红外光学性能优良的红外光学材料,在3~12μm 波段透过率达70%,在军事上可用作红外窗口和头罩。随着红外技术在军事领域的发展和应用,ZnS 光学晶体材料在红外成像技术和多光谱精确制导技术中成为国防上不可缺少的关键材料。本文报导了我们采用化学气相沉积(CVD)法生长大尺寸ZnS 多晶红外光学材料的制备过程,设计了合理的温场,探索了最佳的工艺条件,解决了真空弧光放电问题,成功生长出350mm×300mm×15mm 大尺寸ZnS多晶红外光学材料。

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