收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

砷化镓及相关化合物半导体材料的研究进展和应用前景

屠海令  郑安生  张峰翊  邓志杰  王永鸿  钱嘉裕  韩庆彬  陈坚邦  
【摘要】:随着信息技术的发展,化合物半导体材料在微电子和光电子学中发挥越来越重要的作用。以砷化镓(GaAs)为代表的Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体材料正沿着大直径、高质量、低成本方向迅速发展。本文着重叙述了GaAs 单晶工艺技术现状,讨论了GaAs 熔体生长中传热、传质过程及对晶体残余应力和化学计量比的影响;同时还介绍了化合物半导体材料的完整性、均匀性和表面质量方面的研究进展;阐述了GaN 白光发光器件和异质结结构方面的研究现状;论及了晶片加工、热处理、表面和缺陷控制以及同步辐射X 射线和光弹法等检测方法与技术。最后,文章还展望了Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体在未来无线通讯和光电子产业中的应用前景。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 舒柏宏,侯静,陆启生,刘泽金;砷化镓材料与激光相互作用的实验研究[J];红外与激光工程;1999年01期
2 岳桢干;;美国开发出大有前途的砷化镓多层生长技术[J];红外;2011年05期
3 ;体积比对砷化镓单晶质量的影响[J];西北大学学报(自然科学版);1974年02期
4 周继程,沈德新,乔墉,徐晨梅,翁渝民;发可见光的掺氮砷化镓[J];应用科学学报;1984年03期
5 ;我国砷化镓单晶生长技术世界领先[J];稀有金属;2002年01期
6 王福臣;砷化镓单片微波集成电路工艺述评[J];固体电子学研究与进展;1983年01期
7 陈坚邦;砷化镓材料发展和市场前景[J];稀有金属;2000年03期
8 林兰英;王占国;;杂质和缺陷在砷化镓中的行为[J];稀有金属;1978年01期
9 邹英寅;砷化镓声电荷输运的二维互作用模型[J];半导体学报;1994年07期
10 孙继忠;罗永祥;;离子注人硅在砷化镓中的扩散模型[J];半导体杂志;1996年04期
11 郎小虎;张玮琪;孙彬;闫启亮;;砂轮划片机在砷化镓材料切割中的应用研究[J];电子工业专用设备;2014年04期
12 邹恒泰;用三甲基镓和砷烷制备砷化镓外延膜的工艺探索[J];微电子学;1975年01期
13 王家源;;衬底材料述评:硅、蓝宝石、砷化镓[J];半导体情报;1984年02期
14 ;砷化镓技术[J];半导体光电;1987年02期
15 彭彤,叶令,张开明;硫对砷化镓表面悬挂键的饱和作用[J];复旦学报(自然科学版);1995年02期
16 ;由元素鎵和砷制备砷化镓[J];仪表材料;1972年03期
17 毕克允;;集中力量发展我国的砷化镓技术[J];半导体情报;1993年01期
18 ;我国砷化镓单晶生长技术取得国际领先水平[J];半导体技术;2006年05期
19 华庆恒;;用水平法制备高纯砷化镓单晶的几个问题[J];微电子学;1973年01期
20 Tetsuo Asano;川舸;;液相外延制作的砷化镓结的显示[J];半导体情报;1975年11期
中国重要会议论文全文数据库 前6条
1 屠海令;郑安生;张峰翊;邓志杰;王永鸿;钱嘉裕;韩庆彬;陈坚邦;;砷化镓及相关化合物半导体材料的研究进展和应用前景[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
2 纪秀峰;;砷化镓材料国内外现状及发展趋势[A];LED产业及其材料技术市场高层论坛论文集[C];2010年
3 葛惟锟;;砷化镓中缺陷阴极荧光的时间分辨研究[A];第三次中国电子显微学会议论文摘要集(二)[C];1983年
4 梁静国;;砷化镓中非晶态与晶态界面的高分辨象[A];第三次中国电子显微学会议论文摘要集(二)[C];1983年
5 逯贵祯;陈杰;梁静国;兰怡;;铟镓磷一砷化镓界面的扫描电镜研究[A];第三次中国电子显微学会议论文摘要集(二)[C];1983年
6 于洪国;武壮文;王继荣;张海涛;;水平掺硅砷化镓单晶生长过程中位错的控制[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅱ[C];2004年
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 祁海峰;连续及纳秒激光对砷化镓材料的损伤研究[D];山东大学;2008年
2 马德明;砷化镓材料的团簇及其光电特性研究[D];西安理工大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 李永富;强激光对砷化镓材料损伤机理的研究[D];山东大学;2007年
中国重要报纸全文数据库 前5条
1 陈树荣 张九红;中国能够生产砷化镓[N];人民日报海外版;2002年
2 忠一 元波 李彦;我国第一颗八英寸大直径砷化镓单晶诞生[N];科技日报;2006年
3 郅诗厄;半导体家族的后起之秀 砷化镓[N];北京科技报;2002年
4 郝钢;大庆佳昌研制出8英寸砷化镓单晶[N];中国有色金属报;2006年
5 王小庆;四十六所:以GaAs生产为主[N];中国电子报;2002年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978