溶胶-凝胶法制备(PLZT)铁电薄膜及掺杂对介电性能的影响

【摘要】：用改进的Sol-Gel法在N型(110)Si片上制备出表面平整,无龟裂的PLZT铁电薄膜。研究了影响薄膜显微结构与电学性能的工艺参数,从中优化出最佳的工艺参数。研究表明溶胶液中乙酰丙酮分子是烯醇式结构,而且是通过它的一个氧原子以单齿配位的方式与金属成键。它能较好地控制溶胶中的水解。铁电薄膜在硅片上以多晶形态存在,是典型的钙钛矿型结构,有明显的择优取向。掺杂La、Zr可以提高材料的介电常数,同时增加介电损耗。

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3	付兴华;于玲君;辛立强;;底电极与组分对Ba_(1-x)Sr_xTiO_3薄膜结构与介电性能影响的研究[J];硅酸盐通报;2010年03期
4	娄建忠;代鹏超;李曼;赵冬月;刘保亭;;外延CeO_2高k栅介质层的结构及介电性能[J];电子元件与材料;2011年03期
5	王晓飞;胡秋波;;退火气氛对SrTiO_3薄膜电学性能的影响[J];河南科技大学学报(自然科学版);2011年04期
6	贺洁;辛煜;叶超;宁兆元;孙钢;;微波电子回旋共振法沉积的非晶碳化硅薄膜结构和性能研究[J];功能材料;2006年12期
7	刘卫东;朱宝库;;聚酰亚胺/二氧化硅杂化膜的制备与介电性能的研究[J];浙江化工;2007年07期
8	赵敏;曹万强;;PLD法制备BST薄膜及其介电性能研究[J];湖北大学学报(自然科学版);2007年04期
9	孙琳;褚君浩;杨平雄;冯楚德;;Sr位Nd掺杂对SrBi_2Nb_2O_9性能的影响及机理研究[J];物理学报;2009年08期
10	付承菊;黄志雄;李杰;郭冬云;;Sol-gel法制备多铁性Bi_(0.85)Eu_(0.15)FeO_3薄膜及其性能[J];材料导报;2010年04期
11	王今朝;章天金;王军;江娟;潘瑞坤;何军;;Ba_(0.65)Sr_(0.35)TiO_3薄膜的磁控溅射法制备与介电性能研究[J];湖北大学学报(自然科学版);2007年02期
12	刘鹏;张丹;;偏置电场诱导的PLZST反铁电介电弛豫现象[J];科学通报;2008年15期
13	丁南;唐新桂;匡淑娟;伍君博;刘秋香;何琴玉;;锰掺杂对Ba(Zr,Ti)O_3陶瓷压电与介电性能的影响[J];物理学报;2010年09期
14	袁媛,陈湘明;Ba_6Ti_2Nb_8O_(30)和Sr_6Ti_2Nb_8O_(30)陶瓷的驰豫铁电性能[J];四川大学学报(自然科学版);2005年S1期
15	雍俐培;朱小红;王奉波;彭炜;黎松林;李洁;陈莺飞;田海燕;孙小松;郑东宁;;YBa_2Cu_3O_(7-δ)薄膜厚度在多层异质结构(Ag/Ba_(0.1)Sr_(0.9)TiO_3/YBa_2Cu_3O_(7-δ)/LaAlO_3)中对Ba_(0.1)Sr_(0.9)TiO_3介电性能的影响研究[J];低温物理学报;2005年S1期
16	王茂祥;孙平;;磁控溅射制备PST薄膜的介电与铁电性能[J];真空科学与技术学报;2006年06期
17	郑新芳;李俊峰;;退火温度对BaTiO_3薄膜的结构和介电性能的影响[J];化工时刊;2008年02期
18	杨和梅;姚正军;闫凯;陈丹丹;;氩氧比例对Al_2O_3薄膜结构及性能的影响[J];有色金属;2009年03期
19	张见周;;偶极矩的测定及其应用[J];曲阜师范大学学报(自然科学版);1980年03期
20	张秋林;王越;刘国庆;蒋毅坚;;(Nb_2O_5)_(1-x)(TiO_2)_x陶瓷的制备及其介电性能的研究[J];人工晶体学报;2006年05期

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前10条

1	罗民;曹传宝;汪浩;朱鹤荪;;溶胶-凝胶法制备(PLZT)铁电薄膜及掺杂对介电性能的影响[A];第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1998年
2	王利光;郭良;王畅;Terence K.S.W.;;碳纳米管(10,0)径向形变的光学特性[A];第十三届全国量子光学学术报告会论文摘要集[C];2008年
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5	徐凯宇;唐珺;;GaN量子点压电性能的分子力学模拟[A];现代数学和力学(MMM-XI)：第十一届全国现代数学和力学学术会议论文集[C];2009年
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8	徐琰;梁昌洪;;关于介质交界面的介电常数问题[A];2001年全国微波毫米波会议论文集[C];2001年
9	代伍坤;朱满康;候育冬;王波;严辉;;BTS铁电薄膜的Sol-gel法制备[A];中国硅酸盐学会2003年学术年会论文摘要集[C];2003年
10	侯舜华;;电介质介电常数及其测量[A];中国物理学会第十一届静电、电磁防护与电磁兼容学术年会论文集[C];2003年

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3	陈春平;开口同轴探头同时测量复电磁参数技术理论研究与实践[D];上海大学;2004年
4	殷桂琴;旋转涂敷法（SOD）制备硅基多孔低k薄膜材料的研究[D];苏州大学;2008年
5	辛煜;微波ECRCVD制备a-C：F：H薄膜的结构与性能研究[D];苏州大学;2002年
6	牛家胜;离子晶体中的非线性极化激元[D];北京师范大学;2003年
7	王琳;太赫兹辐射的产生、探测及一些分子和固体的太赫兹时域光谱[D];吉林大学;2008年
8	曾然;含特异材料平面结构中的Casimir效应研究[D];哈尔滨工业大学;2008年
9	黄保坤;溶剂效应及其对费米共振的影响[D];吉林大学;2006年
10	贺春元;高压下Ⅱ-Ⅵ族化合物CdX（X=S、Se、Te）的电输运性质[D];吉林大学;2007年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	孟玲;偏置电场下铁电/反铁电材料的介电与热释电性能研究[D];陕西师范大学;2008年
2	张秋林;Nb_2O_5-TiO_2和Nb_2O_5-Ta_2O_5体系陶瓷烧结工艺及介电性能的研究[D];北京工业大学;2006年
3	徐华;脉冲激光沉积Pb_（0.5）Sr_（0.5）TiO_3薄膜和（Pb，Sr）TiO_3/（Pb，La）TiO_3多层膜的介电性能及弛豫现象[D];苏州大学;2005年
4	陈辉;相对论性纵等离激元色散关系和朗道阻尼数值解及其分析[D];南昌大学;2006年
5	李雪翠;（镧、锶、铕）与（锆、铈）共掺杂钛酸钡陶瓷的制备与性质的研究[D];吉林大学;2009年
6	卫永霞;氧掺杂SiCOH薄膜的制备和性能研究[D];苏州大学;2007年
7	程鹏;MgO掺杂BST微波铁电材料的结构和介电性能研究[D];武汉理工大学;2007年
8	高留春;Ho掺杂Ba(Zr_(0.2)Ti_(0.8))O_3介质薄膜的生长及性能研究[D];电子科技大学;2009年
9	钱晶晶;钛酸锶钡微波铁电材料掺杂改性研究[D];武汉理工大学;2007年
10	吴天书;PLD法在Si衬底上取向生长Ba_（0.5）Sr_（0.5）TiO_3/La_（0.5）Sr_（0.5）CoO_3薄膜的研究[D];武汉大学;2005年

中国重要报纸全文数据库

前1条

1	贾正根;光子晶体学俏然崛起[N];中国电子报;2001年

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