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高品质立方氮化硼薄膜

赵永年  邹广田  何志  李冬妹  朱品文  王学进  赵冰  
【摘要】:本工作报道了低应力立方氮化硼薄膜。TEM测量表面薄膜表面是一层纯立方氮化硼。红外光谱结果表明在这个层与基底之间是由E-BN和W-BN组成的中间层。本工作提出了薄膜生长过程中可能经历了一个从E-BN和W-BN到c-BN的相转变。

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