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中空阴极磁控溅射法制备氮化碳薄膜的光电子能谱及红外光谱研究

张志宏  范湘军  郭怀喜  孟宪权  叶明生  付强  杨业智  莫少波  
【摘要】:用中空阴极磁控溅射的方法,我们制备了氮化碳薄膜。X射线光电子能谱红外光谱研究表明,膜中含有两种相的氮化碳。第一种相对应的结构为C_2N,碳以sp杂化形式和氮原子化合,而第二种相对应的结构为β-C_3N_4,碳原子以sp~3杂化方式和氮化合。

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