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采用Zr(NO_3)_4制备高取向度PZT铁电薄膜的溶胶-凝胶工艺

曹伟  莫小洪  田杰  项爱民  王西成  
【摘要】:从实用化的角度出发,用无机盐替代锆的醇盐,通过sol-gel方法,成功合成了均匀、稳定的PZT溶胶。采用Pt/Ti/SiO_2/Si基片并加入PT过渡层,经快速热处理在720℃的较低温度下制备出具有单一钙钛矿晶型、沿(100)方向高度定向的完整PZT陶瓷薄膜。

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